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cz.87101木虫 (正式写手)
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[求助]
求助：有没有对光刻胶特别熟悉的，想了解一些光刻胶的信息 已有2人参与
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光刻胶种类很多，紫外、深紫外、电子束等各种光刻方式不同，用的胶也不一样，想了解： ①每个光刻波段用的什么胶，关键是胶成分（阻聚剂、感光剂、聚合物等具体成分） 比如紫外用 光刻胶Su-8正胶，具体成分是什么？百度也没查到 不知有没有专家，能否分享点资料，多谢！ |
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2楼2014-03-04 10:34:16
cz.87101
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【答案】应助回帖
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cz.87101: 金币+8, ★★★很有帮助, 已经查阅了一部分专利，还是灰常谢谢！！！ 2014-04-18 21:35:36
cz.87101: 金币+8, ★★★很有帮助, 已经查阅了一部分专利，还是灰常谢谢！！！ 2014-04-18 21:35:36
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不同种类的光刻胶成分完全不同，原理上也略有差别。 通过百度是搜不到有用的资料的。 比较著名的胶的种类在wiki上都有详细的介绍，比如SU-8（注意是负胶），就是环氧树脂基的。DNQ类型的胶，就是酚醛树脂的。wiki上你搜索photoresist之类的词，还会有很多扩展信息，自然科学方面wiki还是非常不错的（文科的词条就是渣了）。 还有几个方法可以查到，根据光刻胶的名字搜索MSDS。 根据光刻胶的名称搜索专利。 最容易的办法，是找专门的讲光刻胶的书籍。记得化学工业出版社出过一本中文的，其他的就要靠老外的书了。 |
7楼2014-04-18 17:51:34
8楼2015-05-23 20:35:14
