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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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qingmingchen

铁虫 (初入文坛)

[求助] 盐酸做 ITO 腐蚀,AZ5214光刻胶做掩膜

各位大侠,请问如果需要把表面 ITO film 腐蚀掉,留下一些 ITO pattern, 宽度大概是 10um--100um 范围,需要腐蚀掉的区域也是这个量级以形成绝缘分隔区。据说光刻胶一般都抗酸碱,不知道有没有做过这方面实验朋友。实验室有AZ5214和9360两种胶。先谢谢各位了!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
124685887: 专家考核, 谢谢 2013-12-02 16:32:59
光刻胶都不抗碱,只能一定成都上抗酸。
9360的抗酸能力要好一些。
2楼2013-12-02 12:16:20
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qingmingchen

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-02 12:16:20
光刻胶都不抗碱,只能一定成都上抗酸。
9360的抗酸能力要好一些。

搞错了,是9260.不好意思。
3楼2013-12-02 22:29:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by qingmingchen at 2013-12-02 22:29:44
搞错了,是9260.不好意思。...

9260可以,很难买倒是真的。
4楼2013-12-03 14:31:05
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qingmingchen

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-03 14:31:05
9260可以,很难买倒是真的。...

我用5214胶做了,可以做出来。不过得把握好显影时间和腐蚀时间。另外在 HCl 里面加 FeCl3 可以加快腐蚀速度。
5楼2013-12-13 11:13:49
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jianmei90215

新虫 (初入文坛)

急,急,我也要腐蚀PET上的ITO,请问你用的盐酸是什么浓度的,可不可具体讲一下
6楼2014-11-07 15:05:32
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yanglusuda

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by qingmingchen at 2013-12-13 11:13:49
我用5214胶做了,可以做出来。不过得把握好显影时间和腐蚀时间。另外在 HCl 里面加 FeCl3 可以加快腐蚀速度。...

你好,新手,没弄明白为什么加入FeCl3能够提高腐蚀速度?谢谢关照啊!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
云里雾里的日子
7楼2015-03-31 10:24:00
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