24小时热门版块排行榜    

查看: 2654  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

qingmingchen

铁虫 (初入文坛)

[求助] 盐酸做 ITO 腐蚀,AZ5214光刻胶做掩膜

各位大侠,请问如果需要把表面 ITO film 腐蚀掉,留下一些 ITO pattern, 宽度大概是 10um--100um 范围,需要腐蚀掉的区域也是这个量级以形成绝缘分隔区。据说光刻胶一般都抗酸碱,不知道有没有做过这方面实验朋友。实验室有AZ5214和9360两种胶。先谢谢各位了!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qingmingchen

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-03 14:31:05
9260可以,很难买倒是真的。...

我用5214胶做了,可以做出来。不过得把握好显影时间和腐蚀时间。另外在 HCl 里面加 FeCl3 可以加快腐蚀速度。
5楼2013-12-13 11:13:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
124685887: 专家考核, 谢谢 2013-12-02 16:32:59
光刻胶都不抗碱,只能一定成都上抗酸。
9360的抗酸能力要好一些。
2楼2013-12-02 12:16:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qingmingchen

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-02 12:16:20
光刻胶都不抗碱,只能一定成都上抗酸。
9360的抗酸能力要好一些。

搞错了,是9260.不好意思。
3楼2013-12-02 22:29:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by qingmingchen at 2013-12-02 22:29:44
搞错了,是9260.不好意思。...

9260可以,很难买倒是真的。
4楼2013-12-03 14:31:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 资源与环境 调剂申请(333分) +5 holy J 2026-03-21 5/250 2026-03-21 22:42 by Catalysis25
[考研] 333求调剂 +5 87639 2026-03-21 7/350 2026-03-21 19:31 by ColorlessPI
[考研] 0703化学调剂 ,六级已过,有科研经历 +14 曦熙兮 2026-03-15 14/700 2026-03-21 19:12 by ColorlessPI
[考研] 材料工程专硕 348分求调剂 +3 冬辞. 2026-03-17 5/250 2026-03-21 18:47 by 学员8dgXkO
[基金申请] 学校已经提交到NSFC,还能修改吗? 40+4 babangida 2026-03-19 9/450 2026-03-21 16:12 by babangida
[考研] 330求调剂0854 +3 assdll 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:01 by 搏击518
[考研] 一志愿华中科技大学071000,求调剂 +3 沿岸有贝壳6 2026-03-21 3/150 2026-03-21 10:35 by 暮云清寒
[考研] 南昌大学材料专硕311分求调剂 +6 77chaselx 2026-03-20 6/300 2026-03-21 07:24 by JourneyLucky
[考研] 化学求调剂 +4 临泽境llllll 2026-03-17 5/250 2026-03-21 02:23 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +10 冷笙123 2026-03-17 10/500 2026-03-21 01:54 by JourneyLucky
[考研] 一志愿 西北大学 ,070300化学学硕,总分287,双非一本,求调剂。 +3 晨昏线与星海 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:46 by JourneyLucky
[考研] 321求调剂 +9 何润采123 2026-03-18 11/550 2026-03-20 23:19 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +8 小材化本科 2026-03-18 8/400 2026-03-20 23:16 by JourneyLucky
[考研] 一志愿南京理工大学085701资源与环境302分求调剂 +4 葵梓卫队 2026-03-18 6/300 2026-03-20 23:02 by JourneyLucky
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +9 Doleres 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:36 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西安交通大学 学硕 354求调剂211或者双一流 +3 我想要读研究生 2026-03-20 3/150 2026-03-20 20:13 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工专硕调剂 +7 heming3743 2026-03-16 7/350 2026-03-20 19:31 by zhukairuo
[考研] 085600材料与化工调剂 324分 +10 llllkkkhh 2026-03-18 12/600 2026-03-19 14:33 by llllkkkhh
[考研] 301求调剂 +4 A_JiXing 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:32 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿南京大学,080500材料科学与工程,调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
信息提示
请填处理意见