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汕头大学海洋科学接受调剂
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cz.87101

木虫 (正式写手)

[求助] 求助:有没有对光刻胶特别熟悉的,想了解一些光刻胶的信息 已有2人参与

光刻胶种类很多,紫外、深紫外、电子束等各种光刻方式不同,用的胶也不一样,想了解:
①每个光刻波段用的什么胶,关键是胶成分(阻聚剂、感光剂、聚合物等具体成分)
    比如紫外用 光刻胶Su-8正胶,具体成分是什么?百度也没查到

不知有没有专家,能否分享点资料,多谢!
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只有能打死的蚊子,没有能打死的小强!而偶就是打不死的小强!
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071228liu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

前两天刚了解过,印象中成膜树脂是线性甲酚醛树脂
5楼2014-03-31 12:01:06
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查看全部 8 个回答

zxf9

新虫 (初入文坛)

光刻胶光刻所用波长越短,其分辨率越高。光刻胶大体分为:
1.紫外光刻胶
1.1紫外负性光刻胶
1.2紫外正性光科教
2. 深紫外光刻胶(加入PAG光产酸剂)
2.1 248nm光刻胶
2.2 193nm光刻胶
2.3 157nm光刻胶
3. 辐射线光刻胶(X射线、电子书、离子束)
2楼2014-03-04 10:34:16
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cz.87101

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zxf9 at 2014-03-04 10:34:16
光刻胶光刻所用波长越短,其分辨率越高。光刻胶大体分为:
1.紫外光刻胶
1.1紫外负性光刻胶
1.2紫外正性光科教
2. 深紫外光刻胶(加入PAG光产酸剂)
2.1 248nm光刻胶
2.2 193nm光刻胶
2.3 157nm光刻胶
3. 辐 ...

谢谢回复,这个我也知道,关键是成分。。。。。。
只有能打死的蚊子,没有能打死的小强!而偶就是打不死的小强!
3楼2014-03-04 15:57:50
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林文丢丢

木虫 (正式写手)

我想问一下  你做靶材 靶材开裂你怎么解决的   用什么把碎了的靶材粘结到铜板上的 无极高温胶吗
4楼2014-03-12 16:30:50
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