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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 碳化光刻胶去除求助！
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 碳化光刻胶去除求助！

小弟新手，有个问题请教！
我的片子上现在有铬膜，然后铬膜上有碳化的光刻胶！
我现在想把碳化的光刻胶去掉！
碳化的光刻胶我用丙酮泡过，然后过氧化氢加热泡过，但是还有很多残留。
现在想用浓硫酸和过氧化氢配食人鱼溶液把碳化的光刻胶去掉！不知道是否可行！
另外食人鱼溶液会不会对铬膜有影响？
谢谢！
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1楼 2013-01-11 20:47:39
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Schattenburg

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wj0702114081: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-01-17 13:41:45
用浓硫酸和过氧化氢能把碳化的光刻胶去掉，对铬膜基本没有影响，我们刚做过。
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2楼2013-01-12 06:38:16
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by Schattenburg at 2013-01-12 06:38:16
用浓硫酸和过氧化氢能把碳化的光刻胶去掉，对铬膜基本没有影响，我们刚做过。

浓硫酸和过氧化氢的比例是多少大概？
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3楼2013-01-12 08:40:04
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wj0702114081: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-01-17 13:41:35
引用回帖:
3楼: Originally posted by wj0702114081 at 2013-01-12 08:40:04
浓硫酸和过氧化氢的比例是多少大概？...

一般是3：1，但也不是很严格，浓硫酸多一些没关系。
碳化的光刻胶也可以用臭氧处理，一样可以去掉。
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4楼2013-01-12 22:26:43
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583860729

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
5楼2014-08-28 14:51:41
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
5楼: Originally posted by 583860729 at 2014-08-28 14:51:41
我刚刚做过，去碳化的光刻胶用浓硫酸：双氧水=2：1，就可以。其实我觉得碳化后的光刻胶如果结构不是很紧密， 直接大功率的超声就能搞定。

我这表面有结构，超声不行。
我也是用浓硫酸和双阳岁泡的，效果还不错。
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6楼2014-08-28 17:06:58
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向往蓝天白云

新虫 (著名写手)
如果不用浓硫酸还有什么方法能去除啊
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7楼2018-11-06 19:24:11
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