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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于光刻胶的一些问题
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[交流] 关于光刻胶的一些问题

最近在弄光刻胶，遇到了一个棘手的问题，就是在等离子刻蚀后，光刻胶发生变性，不能被丙酮去掉。想问问大家有没有遇到过这类的问题，是怎么解决的？
有用过光刻胶的朋友都说说自己用的胶的型号、用途吧，咱们可以交流一下，回头可以写一个总结类的帖子，造福大家~
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1楼 2013-05-31 08:35:11
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gzl9901

铁杆木虫 (文坛精英)
★
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每天上小木虫，每天搞科研！
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2楼2013-05-31 09:02:29
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Bearsu

银虫 (小有名气)
★
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因为等离子体里含紫外光，对光胶曝光了……
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5楼2013-06-01 04:42:47
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Bearsu at 2013-06-01 04:42:47
因为等离子体里含紫外光，对光胶曝光了……

哦？还是第一次听说，如果这样的话，
1、曝光了的话，也应该可以用丙酮什么的去掉啊。
2、等离子体为什么会有紫外线，虽然看上去是紫色的……
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6楼2013-06-01 08:20:03
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Bearsu

银虫 (小有名气)
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引用回帖:
6楼: Originally posted by hello_Jzz at 2013-06-01 08:20:03
哦？还是第一次听说，如果这样的话，
1、曝光了的话，也应该可以用丙酮什么的去掉啊。
2、等离子体为什么会有紫外线，虽然看上去是紫色的……...

去掉是指develop还是remove？两个概念完全不一样的
我觉得大概是去掉，那如果可以用强酸呗，或者用擦镜纸，沾点儿丙酮强行擦
我们这里的Plasma cleaner中看到紫色了，那产生的光子不是紫外波长还是红外波长？我也不知道你用啥光胶，有的光胶在plasma中会被清掉的……我就遇到过T T
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7楼2013-06-01 11:21:15
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by Bearsu at 2013-06-01 11:21:15
去掉是指develop还是remove？两个概念完全不一样的
我觉得大概是去掉，那如果可以用强酸呗，或者用擦镜纸，沾点儿丙酮强行擦
我们这里的Plasma cleaner中看到紫色了，那产生的光子不是紫外波长还是红外波长？我也 ...

哈哈，我现在是在remove，develop是显影吧，那一步很简单，因为没有什么特殊处理，就是曝光、显影。但是我们还涉及到刻蚀，其实我特别想知道，等离子体和反应离子有什么区别，因为我两个仪器都用过，而且源都是Ar气。
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8楼2013-06-01 14:19:27
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sunxiaoyu202

新虫 (初入文坛)
★
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还是在等离子体刻蚀里，加入氧气，它与光刻胶进行反应，即去除了；或直接用氩气物理轰击去除，但不好控制。光刻胶的种类就太多了，现在新胶越来越多，越来越细分，大家还是在围绕自己的设备选择合适的胶。
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9楼2013-06-20 11:38:42
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sunxiaoyu202

新虫 (初入文坛)
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引用回帖:
8楼: Originally posted by hello_Jzz at 2013-06-01 14:19:27
哈哈，我现在是在remove，develop是显影吧，那一步很简单，因为没有什么特殊处理，就是曝光、显影。但是我们还涉及到刻蚀，其实我特别想知道，等离子体和反应离子有什么区别，因为我两个仪器都用过，而且源都是Ar气 ...

反应离子刻蚀，用的就是等离子体。反应可以是物理反应（氩气），也可以是化学反应（氟基或氯基气体，氧气等）。
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10楼2013-06-20 11:42:50
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
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等离子体刻蚀主要靠物理轰击，就像水滴石穿一样；反应离子刻蚀就像名字一样，靠化学反应进行刻蚀，物理轰击作用很小！
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11楼2013-08-22 18:14:32
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回眸的舞者

木虫 (著名写手)
★
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--曝光出问题了吧
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12楼2013-08-23 10:55:41
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perry_ping

新虫 (著名写手)
★
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我们目前也发现经等离子刻蚀后胶变性，直接用强酸去了，丙酮去不掉

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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13楼2015-01-14 15:51:03
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tigerkf3楼
2013-05-31 09:09   回复  
yingying15884楼
2013-05-31 22:57   回复  
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