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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 关于光刻胶的一些问题
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[交流] 关于光刻胶的一些问题

最近在弄光刻胶，遇到了一个棘手的问题，就是在等离子刻蚀后，光刻胶发生变性，不能被丙酮去掉。想问问大家有没有遇到过这类的问题，是怎么解决的？
有用过光刻胶的朋友都说说自己用的胶的型号、用途吧，咱们可以交流一下，回头可以写一个总结类的帖子，造福大家~
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1楼 2013-05-31 08:35:11
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回眸的舞者

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
--曝光出问题了吧
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12楼2013-08-23 10:55:41
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