| 查看: 3115 | 回复: 10 | |||
[交流]
厚胶光刻时出现的问题——针孔 已有9人参与
|
|||
|
厚胶光刻时，显影烘干后，在光刻胶上容易出现一些小气泡，还有一些地方有针孔，这个是哪一步出现的问题呢？求高手指点。 匀胶转速：2000r；前烘：90℃、40min、曝光：100s；显影：室温，150s； |
回复此楼
nanocrazy
银虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 363.2
- 散金: 60
- 帖子: 141
- 在线: 140小时
- 虫号: 1300484
- 注册: 2011-05-19
- 性别: GG
- 专业: 生化分析及生物传感
2楼2013-01-10 21:57:57
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2013-01-10 22:21:46
ciompman
铁杆木虫 (职业作家)
- 应助: 36 (小学生)
- 贵宾: 0.006
- 金币: 13444.2
- 散金: 3775
- 红花: 21
- 帖子: 3837
- 在线: 917.2小时
- 虫号: 878615
- 注册: 2009-10-20
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
4楼2013-01-10 23:25:27
5楼2013-01-11 08:29:16
zhouyang2012
金虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 760.7
- 帖子: 69
- 在线: 56.3小时
- 虫号: 2212581
- 注册: 2012-12-29
- 性别: GG
- 专业: 集成电路设计与测试
6楼2013-01-11 16:41:40
7楼2013-01-11 22:04:35
tiencore
金虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 1404.8
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 614
- 在线: 62.3小时
- 虫号: 1412000
- 注册: 2011-09-22
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
8楼2013-01-11 23:15:42
9楼2013-01-11 23:49:45
10楼2013-01-30 03:37:54
40