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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 厚胶光刻时出现的问题——针孔
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hughfly

新虫 (初入文坛)

[交流] 厚胶光刻时出现的问题——针孔 已有9人参与

厚胶光刻时，显影烘干后，在光刻胶上容易出现一些小气泡，还有一些地方有针孔，这个是哪一步出现的问题呢？求高手指点。
匀胶转速：2000r；前烘：90℃、40min、曝光：100s；显影：室温，150s；
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薄膜材料和器件制备 yswyx的关于光刻的各种回复 实验们

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1楼 2013-01-10 19:15:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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厚胶有多厚？ 什么型号？
涂胶之前是否脱泡？
烘烤用的是烘箱？厚胶最好用热板。
片子有没有洗干净？
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3楼2013-01-10 22:21:46
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nanocrazy

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
前烘之前温度要慢慢上升，不能一步到位
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2楼2013-01-10 21:57:57
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
把工艺写清楚，大家才好帮你分析。
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4楼2013-01-10 23:25:27
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limeiyu53

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你这个厚胶是正胶吗？具体厚度大约是多少？你的显影液是不是用的氢氧化钠或者氢氧化钾？
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5楼2013-01-11 08:29:16
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