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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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hughfly

新虫 (初入文坛)

[交流] 厚胶光刻时出现的问题——针孔 已有9人参与

厚胶光刻时,显影烘干后,在光刻胶上容易出现一些小气泡,还有一些地方有针孔,这个是哪一步出现的问题呢?求高手指点。
匀胶转速:2000r;前烘:90℃、40min、曝光:100s;显影:室温,150s;
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limeiyu53

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你这个厚胶是正胶吗?具体厚度大约是多少?你的显影液是不是用的氢氧化钠或者氢氧化钾?
5楼2013-01-11 08:29:16
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nanocrazy

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
前烘之前温度要慢慢上升,不能一步到位
2楼2013-01-10 21:57:57
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
厚胶有多厚? 什么型号?
涂胶之前是否脱泡?
烘烤用的是烘箱?厚胶最好用热板。
片子有没有洗干净?
3楼2013-01-10 22:21:46
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ciompman

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
把工艺写清楚,大家才好帮你分析。
4楼2013-01-10 23:25:27
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