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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 厚胶光刻时出现的问题——针孔
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limeiyu53

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
针孔可能是过滤不干净，光刻胶里面有颗粒。提高一下转速看看气泡还在吗？
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11楼2013-01-30 08:26:34
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