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厚胶光刻时出现的问题——针孔 已有9人参与
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厚胶光刻时，显影烘干后，在光刻胶上容易出现一些小气泡，还有一些地方有针孔，这个是哪一步出现的问题呢？求高手指点。 匀胶转速：2000r；前烘：90℃、40min、曝光：100s；显影：室温，150s； |
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 薄膜材料和器件制备 | yswyx的关于光刻的各种回复 | 实验们 |
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9楼2013-01-11 23:49:45
nanocrazy
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2楼2013-01-10 21:57:57
yswyx 
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3楼2013-01-10 22:21:46
ciompman
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4楼2013-01-10 23:25:27