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关于光刻胶的一些问题
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hello_Jzz
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[交流]
关于光刻胶的一些问题
最近在弄光刻胶,遇到了一个棘手的问题,就是在等离子刻蚀后,光刻胶发生变性,不能被丙酮去掉。想问问大家有没有遇到过这类的问题,是怎么解决的?
有用过光刻胶的朋友都说说自己用的胶的型号、用途吧,咱们可以交流一下,回头可以写一个总结类的帖子,造福大家~
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2013-05-31 08:35:11
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babyoflion
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等离子体刻蚀主要靠物理轰击,就像水滴石穿一样;反应离子刻蚀就像名字一样,靠化学反应进行刻蚀,物理轰击作用很小!
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11楼
2013-08-22 18:14:32
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gzl9901
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每天上小木虫,每天搞科研!
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2楼
2013-05-31 09:02:29
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Bearsu
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
因为等离子体里含紫外光,对光胶曝光了……
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5楼
2013-06-01 04:42:47
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hello_Jzz
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5楼
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Bearsu
at 2013-06-01 04:42:47
因为等离子体里含紫外光,对光胶曝光了……
哦?还是第一次听说,如果这样的话,
1、曝光了的话,也应该可以用丙酮什么的去掉啊。
2、等离子体为什么会有紫外线,虽然看上去是紫色的……
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6楼
2013-06-01 08:20:03
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