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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)


[交流] 关于光刻胶的一些问题

最近在弄光刻胶,遇到了一个棘手的问题,就是在等离子刻蚀后,光刻胶发生变性,不能被丙酮去掉。想问问大家有没有遇到过这类的问题,是怎么解决的?
有用过光刻胶的朋友都说说自己用的胶的型号、用途吧,咱们可以交流一下,回头可以写一个总结类的帖子,造福大家~
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sunxiaoyu202

新虫 (初入文坛)



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引用回帖:
8楼: Originally posted by hello_Jzz at 2013-06-01 14:19:27
哈哈,我现在是在remove,develop是显影吧,那一步很简单,因为没有什么特殊处理,就是曝光、显影。但是我们还涉及到刻蚀,其实我特别想知道,等离子体和反应离子有什么区别,因为我两个仪器都用过,而且源都是Ar气 ...

反应离子刻蚀,用的就是等离子体。反应可以是物理反应(氩气),也可以是化学反应(氟基或氯基气体,氧气等)。
10楼2013-06-20 11:42:50
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gzl9901

铁杆木虫 (文坛精英)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
每天上小木虫,每天搞科研!
2楼2013-05-31 09:02:29
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Bearsu

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
因为等离子体里含紫外光,对光胶曝光了……
5楼2013-06-01 04:42:47
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)


引用回帖:
5楼: Originally posted by Bearsu at 2013-06-01 04:42:47
因为等离子体里含紫外光,对光胶曝光了……

哦?还是第一次听说,如果这样的话,
1、曝光了的话,也应该可以用丙酮什么的去掉啊。
2、等离子体为什么会有紫外线,虽然看上去是紫色的……
6楼2013-06-01 08:20:03
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