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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

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[交流] 关于光刻胶的一些问题

最近在弄光刻胶，遇到了一个棘手的问题，就是在等离子刻蚀后，光刻胶发生变性，不能被丙酮去掉。想问问大家有没有遇到过这类的问题，是怎么解决的？
有用过光刻胶的朋友都说说自己用的胶的型号、用途吧，咱们可以交流一下，回头可以写一个总结类的帖子，造福大家~

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1楼 2013-05-31 08:35:11

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sunxiaoyu202

新虫 (初入文坛)

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★
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引用回帖:

8楼: Originally posted by hello_Jzz at 2013-06-01 14:19:27
哈哈，我现在是在remove，develop是显影吧，那一步很简单，因为没有什么特殊处理，就是曝光、显影。但是我们还涉及到刻蚀，其实我特别想知道，等离子体和反应离子有什么区别，因为我两个仪器都用过，而且源都是Ar气 ...

反应离子刻蚀，用的就是等离子体。反应可以是物理反应（氩气），也可以是化学反应（氟基或氯基气体，氧气等）。