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hello_Jzz

银虫 (小有名气)


[交流] 关于光刻胶的一些问题

最近在弄光刻胶,遇到了一个棘手的问题,就是在等离子刻蚀后,光刻胶发生变性,不能被丙酮去掉。想问问大家有没有遇到过这类的问题,是怎么解决的?
有用过光刻胶的朋友都说说自己用的胶的型号、用途吧,咱们可以交流一下,回头可以写一个总结类的帖子,造福大家~
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Bearsu

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by hello_Jzz at 2013-06-01 08:20:03
哦?还是第一次听说,如果这样的话,
1、曝光了的话,也应该可以用丙酮什么的去掉啊。
2、等离子体为什么会有紫外线,虽然看上去是紫色的……...

去掉是指develop还是remove?两个概念完全不一样的
我觉得大概是去掉,那如果可以用强酸呗,或者用擦镜纸,沾点儿丙酮强行擦
我们这里的Plasma cleaner中看到紫色了,那产生的光子不是紫外波长还是红外波长?我也不知道你用啥光胶,有的光胶在plasma中会被清掉的……我就遇到过T T
7楼2013-06-01 11:21:15
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gzl9901

铁杆木虫 (文坛精英)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
每天上小木虫,每天搞科研!
2楼2013-05-31 09:02:29
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Bearsu

银虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
因为等离子体里含紫外光,对光胶曝光了……
5楼2013-06-01 04:42:47
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)


引用回帖:
5楼: Originally posted by Bearsu at 2013-06-01 04:42:47
因为等离子体里含紫外光,对光胶曝光了……

哦?还是第一次听说,如果这样的话,
1、曝光了的话,也应该可以用丙酮什么的去掉啊。
2、等离子体为什么会有紫外线,虽然看上去是紫色的……
6楼2013-06-01 08:20:03
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