应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有熟悉S1813光刻胶的虫友吗？这个胶做RIE刻蚀的掩模可以吗？
汕头大学海洋科学接受调剂
111/2返回列表12下一页
查看: 3624  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 有熟悉S1813光刻胶的虫友吗？这个胶做RIE刻蚀的掩模可以吗？ 已有2人参与

最近要做一些结构，目前实验室只有S1813，我想做RIE刻蚀，请问刻蚀1个小时的话，用S1813做掩模可以抗得住吗？
如果时间更长一些呢？
现在还没做，RIE是在外边找人做，也不是很懂RIE。掩模我们自己做，希望熟悉这方面的虫友给些建议。

另外我看到S1813的说明书上，3000RPM的厚度是1.5微米左右，1000RPM的厚度是3微米左右。
我的样品是1cmX5mm的小样品，我用1000RPM转30s发现样品边缘积胶很严重。
那么我如果3000RPM转30s然后再3000RPM转30s的话，是不是厚度也在3微米左右？
我实验试了很多次3000RPM转30s涂两次，边缘积胶现象比1000RPM的时候要好很多很多，但是就是厚度现在心里没谱。

再另外，3000RPM转30s和60s有区别吗？匀胶时间主要影响什么？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
1楼 2014-11-20 22:23:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
wj0702114081: 金币+4, ★★★很有帮助, 嗯，我后来又问了一下对方，可能只刻蚀几分钟就可以了，所以胶厚2到3微米就可以。我这么甩胶能做到2微米以上吗？ 2014-11-24 15:48:31
引用回帖:
3楼: Originally posted by wj0702114081 at 2014-11-21 19:39:48
额，我是刻蚀铌酸锂晶体，我看别人的文章里面刻蚀大概速度是30nm/min。
我的样品大概要刻蚀700nm左右，我说一个小时也是打个比方，其实是说刻蚀时间较长，我不是很了解RIE，外行嘛所以就这么问了。

我的胶似， ...

用Ar/SF6混合气体吗？
一般正胶这么长时间干刻可能去胶比较麻烦。
你说的涂胶方式不会做到3 um的。第一次涂完之后烘一下，然后再涂第二层，这样可以做到接近3 um。
你可以确认下s1813的刻蚀选择比来确定需要多厚的胶。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-11-24 12:10:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你要刻什么需要RIE刻一个钟头？？！！！谁家的RIE允许你这么糟蹋？？？你要刻什么，刻多深，怎么刻都不说，别人怎么知道抗不抗的住？
什么叫3000rpm转30s，然后再3000rpm转30s？片子在上面不动，转两个30s？还是片子取下来前烘，然后重新涂胶30s？
赞一下 回复此楼
2楼2014-11-21 12:30:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-21 12:30:50
你要刻什么需要RIE刻一个钟头？？！！！谁家的RIE允许你这么糟蹋？？？你要刻什么，刻多深，怎么刻都不说，别人怎么知道抗不抗的住？
什么叫3000rpm转30s，然后再3000rpm转30s？片子在上面不动，转两个30s？还是片 ...

额，我是刻蚀铌酸锂晶体，我看别人的文章里面刻蚀大概速度是30nm/min。
我的样品大概要刻蚀700nm左右，我说一个小时也是打个比方，其实是说刻蚀时间较长，我不是很了解RIE，外行嘛所以就这么问了。

我的胶似，先涂胶然后匀胶机3000rpm转30s，片子不动，再滴胶然后匀胶机3000rpm转30s。
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
3楼2014-11-21 19:39:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
wj0702114081: 金币+6, ★★★★★最佳答案, 好多，我这里有静静一yi的联系方式，有需要会跟她联系的。谢谢了。 2014-11-24 15:51:08
引用回帖:
3楼: Originally posted by wj0702114081 at 2014-11-21 19:39:48
额，我是刻蚀铌酸锂晶体，我看别人的文章里面刻蚀大概速度是30nm/min。
我的样品大概要刻蚀700nm左右，我说一个小时也是打个比方，其实是说刻蚀时间较长，我不是很了解RIE，外行嘛所以就这么问了。

我的胶似， ...

按照你的涂胶方式，做出来的还是1813的标称厚度。
想要多层涂敷做厚胶，一定要涂完一遍后先烘烤，然后再去涂第二遍。但是强烈不建议这样做，多次涂敷往往不能达到好效果。还是直接去买你需要厚度的光刻胶比较好。
我的建议是，先问给你做RIE的单位，他们用什么光刻胶做掩蔽层来刻蚀铌酸锂，选择比是多少？按照你的刻蚀深度计算出需要的厚度，然后你也去买相同或者类似的光刻胶，再做你的光刻。买胶可以从苏州锐材买小包的，省一点。
赞一下 回复此楼
5楼2014-11-24 13:46:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
4楼: Originally posted by exciting73 at 2014-11-24 12:10:05
用Ar/SF6混合气体吗？
一般正胶这么长时间干刻可能去胶比较麻烦。
你说的涂胶方式不会做到3 um的。第一次涂完之后烘一下，然后再涂第二层，这样可以做到接近3 um。
你可以确认下s1813的刻蚀选择比来确定需要多厚 ...

嗯，我后来又问了一下对方，可能只刻蚀几分钟就可以了，所以胶厚2到3微米就可以。我这么甩胶能做到2微米以上吗？
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
6楼2014-11-24 15:51:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by wj0702114081 at 2014-11-24 15:51:32
嗯，我后来又问了一下对方，可能只刻蚀几分钟就可以了，所以胶厚2到3微米就可以。我这么甩胶能做到2微米以上吗？...

可以做到2 um以上，应该是2000rpm左右可以直接一次做到2 um。再低一点的转速就可以做更厚一点
赞一下 回复此楼
7楼2014-11-27 22:03:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
7楼: Originally posted by exciting73 at 2014-11-27 22:03:26
可以做到2 um以上，应该是2000rpm左右可以直接一次做到2 um。再低一点的转速就可以做更厚一点...

嗯，这个我试了，但是我的片子太小，是1cm乘以5mm的，在低转速的时候，片子的边缘积胶很严重，50的面积基本上都是残胶，我没法做光刻了。所以迫不得己只能用3000转甩两次的办法。
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
8楼2014-11-27 22:42:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by wj0702114081 at 2014-11-27 22:42:57
嗯，这个我试了，但是我的片子太小，是1cm乘以5mm的，在低转速的时候，片子的边缘积胶很严重，50的面积基本上都是残胶，我没法做光刻了。所以迫不得己只能用3000转甩两次的办法。...

哦，是方片啊，那有点麻烦。边缘比较难处理
赞一下 回复此楼
9楼2014-11-28 19:45:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

飞羽MVB

金虫 (小有名气)
请问

发自小木虫Android客户端
回复此楼
10楼2017-05-19 09:40:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wj0702114081 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化工学硕294分，求导师收留 +22 yzyzx 2026-04-12 24/1200 2026-04-13 17:20 by sxdj2
[考研] 材料复试求调剂 +24 xhhdjdjsjks 2026-04-09 24/1200 2026-04-13 15:49 by 幸免 ..
[考研] 调剂 +26 不逢春 2026-04-07 27/1350 2026-04-13 14:24 by 张zhihao
[考研] 一志愿2110，化学学硕310分，本科重点双非求调剂 +20 努力奋斗112 2026-04-08 20/1000 2026-04-13 14:24 by 张zhihao
[考研] 材料考研调剂 +29 云木达达 2026-04-11 31/1550 2026-04-13 13:32 by lyh鲁老师
[考研] 生物学308分求调剂（一志愿华东师大）做过分子实验 +9 相信必会光芒万� 2026-04-07 10/500 2026-04-13 10:20 by 可淡不可忘
[考研] 0831一轮调剂失败求助 +10 小熊睿睿_s 2026-04-11 10/500 2026-04-12 22:43 by 长弓傲
[考研] 22408调剂315分 +3 zhuangyan123 2026-04-09 3/150 2026-04-12 00:25 by 蓝云思雨
[考研] 277 数一104，学硕，求调剂 +21 瓶子PZ 2026-04-09 23/1150 2026-04-11 23:12 by labixiaoqiao
[考研] 材料工程日语考生求调剂 +7 0856?调剂 2026-04-10 7/350 2026-04-11 21:33 by 蓝云思雨
[考研] 药学专硕调剂 +8 ? 一路生?花? 2026-04-10 10/500 2026-04-11 21:21 by zhouxiaoyu
[考研] 283求调剂 +22 那个噜子 2026-04-09 22/1100 2026-04-11 10:41 by 逆水乘风
[考研] 求调剂 +13 雪逢冬 2026-04-10 13/650 2026-04-11 09:58 by 猪会飞
[考研] 337求调剂 +4 研s. 2026-04-10 4/200 2026-04-11 08:57 by zhq0425
[考研] 284求调剂 +12 archer.. 2026-04-10 13/650 2026-04-11 08:44 by zhq0425
[考研] 085506-求调剂-285分 +3 雷欧飞踢 2026-04-08 3/150 2026-04-11 08:37 by zhq0425
[考研] 材料类284调剂 +40 想换手机不想解� 2026-04-08 48/2400 2026-04-10 23:28 by 314126402
[考研] 一志愿武理车辆 281 求调剂 +5 上岸研究生. 2026-04-07 5/250 2026-04-09 15:56 by only周
[考研] 296求调剂 +3 汪！？！ 2026-04-08 3/150 2026-04-08 22:00 by zhouyuwinner
[考研] 323求调剂 +3 林zlu 2026-04-07 4/200 2026-04-07 23:21 by lbsjt
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭