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wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
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[求助]
有熟悉S1813光刻胶的虫友吗？这个胶做RIE刻蚀的掩模可以吗？ 已有2人参与
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最近要做一些结构，目前实验室只有S1813，我想做RIE刻蚀，请问刻蚀1个小时的话，用S1813做掩模可以抗得住吗？ 如果时间更长一些呢？ 现在还没做，RIE是在外边找人做，也不是很懂RIE。掩模我们自己做，希望熟悉这方面的虫友给些建议。 另外我看到S1813的说明书上，3000RPM的厚度是1.5微米左右，1000RPM的厚度是3微米左右。 我的样品是1cmX5mm的小样品，我用1000RPM转30s发现样品边缘积胶很严重。 那么我如果3000RPM转30s然后再3000RPM转30s的话，是不是厚度也在3微米左右？ 我实验试了很多次3000RPM转30s涂两次，边缘积胶现象比1000RPM的时候要好很多很多，但是就是厚度现在心里没谱。 再另外，3000RPM转30s和60s有区别吗？匀胶时间主要影响什么？ |
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8楼2014-11-27 22:42:57