应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有熟悉S1813光刻胶的虫友吗？这个胶做RIE刻蚀的掩模可以吗？
51/1返回列表
查看: 3564  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 有熟悉S1813光刻胶的虫友吗？这个胶做RIE刻蚀的掩模可以吗？ 已有2人参与

最近要做一些结构，目前实验室只有S1813，我想做RIE刻蚀，请问刻蚀1个小时的话，用S1813做掩模可以抗得住吗？
如果时间更长一些呢？
现在还没做，RIE是在外边找人做，也不是很懂RIE。掩模我们自己做，希望熟悉这方面的虫友给些建议。

另外我看到S1813的说明书上，3000RPM的厚度是1.5微米左右，1000RPM的厚度是3微米左右。
我的样品是1cmX5mm的小样品，我用1000RPM转30s发现样品边缘积胶很严重。
那么我如果3000RPM转30s然后再3000RPM转30s的话，是不是厚度也在3微米左右？
我实验试了很多次3000RPM转30s涂两次，边缘积胶现象比1000RPM的时候要好很多很多，但是就是厚度现在心里没谱。

再另外，3000RPM转30s和60s有区别吗？匀胶时间主要影响什么？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
1楼 2014-11-20 22:23:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
7楼: Originally posted by exciting73 at 2014-11-27 22:03:26
可以做到2 um以上，应该是2000rpm左右可以直接一次做到2 um。再低一点的转速就可以做更厚一点...

嗯，这个我试了，但是我的片子太小，是1cm乘以5mm的，在低转速的时候，片子的边缘积胶很严重，50的面积基本上都是残胶，我没法做光刻了。所以迫不得己只能用3000转甩两次的办法。
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
8楼2014-11-27 22:42:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你要刻什么需要RIE刻一个钟头？？！！！谁家的RIE允许你这么糟蹋？？？你要刻什么，刻多深，怎么刻都不说，别人怎么知道抗不抗的住？
什么叫3000rpm转30s，然后再3000rpm转30s？片子在上面不动，转两个30s？还是片子取下来前烘，然后重新涂胶30s？
赞一下 回复此楼
2楼2014-11-21 12:30:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-21 12:30:50
你要刻什么需要RIE刻一个钟头？？！！！谁家的RIE允许你这么糟蹋？？？你要刻什么，刻多深，怎么刻都不说，别人怎么知道抗不抗的住？
什么叫3000rpm转30s，然后再3000rpm转30s？片子在上面不动，转两个30s？还是片 ...

额，我是刻蚀铌酸锂晶体，我看别人的文章里面刻蚀大概速度是30nm/min。
我的样品大概要刻蚀700nm左右，我说一个小时也是打个比方，其实是说刻蚀时间较长，我不是很了解RIE，外行嘛所以就这么问了。

我的胶似，先涂胶然后匀胶机3000rpm转30s，片子不动，再滴胶然后匀胶机3000rpm转30s。
赞一下 回复此楼
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
3楼2014-11-21 19:39:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
wj0702114081: 金币+4, ★★★很有帮助, 嗯，我后来又问了一下对方，可能只刻蚀几分钟就可以了，所以胶厚2到3微米就可以。我这么甩胶能做到2微米以上吗？ 2014-11-24 15:48:31
引用回帖:
3楼: Originally posted by wj0702114081 at 2014-11-21 19:39:48
额，我是刻蚀铌酸锂晶体，我看别人的文章里面刻蚀大概速度是30nm/min。
我的样品大概要刻蚀700nm左右，我说一个小时也是打个比方，其实是说刻蚀时间较长，我不是很了解RIE，外行嘛所以就这么问了。

我的胶似， ...

用Ar/SF6混合气体吗？
一般正胶这么长时间干刻可能去胶比较麻烦。
你说的涂胶方式不会做到3 um的。第一次涂完之后烘一下，然后再涂第二层，这样可以做到接近3 um。
你可以确认下s1813的刻蚀选择比来确定需要多厚的胶。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-11-24 12:10:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 机械学硕总分317求调剂！！！！ +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
[考研] 311求调剂 +4 勇敢的小吴 2026-03-20 4/200 2026-03-25 18:12 by xcjcqu
[考研] 各位老师您好：本人初试372分 +5 jj涌77 2026-03-25 6/300 2026-03-25 14:15 by mapenggao
[考研] 化学调剂 +6 yzysaa 2026-03-21 6/300 2026-03-25 09:27 by aa331100
[考研] 一志愿211 初试270分 求调剂 +5 谷雨上岸 2026-03-23 6/300 2026-03-24 16:32 by laoshidan
[考研] 321求调剂 +4 Ymlll 2026-03-24 4/200 2026-03-24 14:44 by sprinining
[考研] 341求调剂(一志愿湖南大学070300) +5 番茄头--- 2026-03-22 6/300 2026-03-23 23:45 by Txy@872106
[考研] 一志愿国科过程所081700，274求调剂 +3 三水研0水立方 2026-03-23 3/150 2026-03-23 23:11 by MajorWen
[考研] 336化工调剂 +4 王大坦1 2026-03-23 5/250 2026-03-23 18:32 by allen-yin
[考研] 298求调剂 +8 上岸6666@ 2026-03-20 8/400 2026-03-23 11:02 by laoshidan
[考研] 一志愿华中农业071010，总分320求调剂 +5 困困困困坤坤 2026-03-20 6/300 2026-03-22 17:41 by hxsm
[考研] 306求调剂 +5 来好运来来来 2026-03-22 5/250 2026-03-22 16:17 by BruceLiu320
[考研] 298求调剂一志愿211 +3 上岸6666@ 2026-03-20 3/150 2026-03-22 15:50 by ColorlessPI
[考研] 考研调剂 +3 呼呼？~+123456 2026-03-21 3/150 2026-03-21 20:04 by 无际的草原
[考研] 297求调剂 +3 喜欢还是不甘心 2026-03-20 3/150 2026-03-21 18:33 by 学员8dgXkO
[考研] 336求调剂 +5 rmc8866 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:24 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿重庆大学085700资源与环境总分308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-20 7/350 2026-03-21 16:36 by barlinike
[考研] 求调剂 +3 白QF 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:12 by zhukairuo
[考研] 一志愿武汉理工材料工程专硕调剂 +9 Doleres 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:36 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交通 专硕 材料355 本科双非 求调剂 +5 西南交通专材355 2026-03-19 5/250 2026-03-20 21:10 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭