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wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
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[求助]
有熟悉S1813光刻胶的虫友吗？这个胶做RIE刻蚀的掩模可以吗？已有2人参与
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最近要做一些结构，目前实验室只有S1813，我想做RIE刻蚀，请问刻蚀1个小时的话，用S1813做掩模可以抗得住吗？ 如果时间更长一些呢？ 现在还没做，RIE是在外边找人做，也不是很懂RIE。掩模我们自己做，希望熟悉这方面的虫友给些建议。 另外我看到S1813的说明书上，3000RPM的厚度是1.5微米左右，1000RPM的厚度是3微米左右。 我的样品是1cmX5mm的小样品，我用1000RPM转30s发现样品边缘积胶很严重。 那么我如果3000RPM转30s然后再3000RPM转30s的话，是不是厚度也在3微米左右？ 我实验试了很多次3000RPM转30s涂两次，边缘积胶现象比1000RPM的时候要好很多很多，但是就是厚度现在心里没谱。 再另外，3000RPM转30s和60s有区别吗？匀胶时间主要影响什么？ |
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exciting73 
金虫 (著名写手)
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4楼2014-11-24 12:10:05
yswyx
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2楼2014-11-21 12:30:50
wj0702114081
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3楼2014-11-21 19:39:48
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【答案】应助回帖
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wj0702114081: 金币+6, ★★★★★最佳答案, 好多，我这里有静静一yi的联系方式，有需要会跟她联系的。谢谢了。 2014-11-24 15:51:08
wj0702114081: 金币+6, ★★★★★最佳答案, 好多，我这里有静静一yi的联系方式，有需要会跟她联系的。谢谢了。 2014-11-24 15:51:08
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按照你的涂胶方式，做出来的还是1813的标称厚度。 想要多层涂敷做厚胶，一定要涂完一遍后先烘烤，然后再去涂第二遍。但是强烈不建议这样做，多次涂敷往往不能达到好效果。还是直接去买你需要厚度的光刻胶比较好。 我的建议是，先问给你做RIE的单位，他们用什么光刻胶做掩蔽层来刻蚀铌酸锂，选择比是多少？按照你的刻蚀深度计算出需要的厚度，然后你也去买相同或者类似的光刻胶，再做你的光刻。买胶可以从苏州锐材买小包的，省一点。 |
5楼2014-11-24 13:46:55