| 查看: 3634 | 回复: 10 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
|
[求助]
有熟悉S1813光刻胶的虫友吗？这个胶做RIE刻蚀的掩模可以吗？ 已有2人参与
|
||||
|
最近要做一些结构，目前实验室只有S1813，我想做RIE刻蚀，请问刻蚀1个小时的话，用S1813做掩模可以抗得住吗？ 如果时间更长一些呢？ 现在还没做，RIE是在外边找人做，也不是很懂RIE。掩模我们自己做，希望熟悉这方面的虫友给些建议。 另外我看到S1813的说明书上，3000RPM的厚度是1.5微米左右，1000RPM的厚度是3微米左右。 我的样品是1cmX5mm的小样品，我用1000RPM转30s发现样品边缘积胶很严重。 那么我如果3000RPM转30s然后再3000RPM转30s的话，是不是厚度也在3微米左右？ 我实验试了很多次3000RPM转30s涂两次，边缘积胶现象比1000RPM的时候要好很多很多，但是就是厚度现在心里没谱。 再另外，3000RPM转30s和60s有区别吗？匀胶时间主要影响什么？ |
回复此楼» 猜你喜欢
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有248人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有9人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有4人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★
wj0702114081: 金币+6, ★★★★★最佳答案, 好多，我这里有静静一yi的联系方式，有需要会跟她联系的。谢谢了。 2014-11-24 15:51:08
wj0702114081: 金币+6, ★★★★★最佳答案, 好多，我这里有静静一yi的联系方式，有需要会跟她联系的。谢谢了。 2014-11-24 15:51:08
|
按照你的涂胶方式，做出来的还是1813的标称厚度。 想要多层涂敷做厚胶，一定要涂完一遍后先烘烤，然后再去涂第二遍。但是强烈不建议这样做，多次涂敷往往不能达到好效果。还是直接去买你需要厚度的光刻胶比较好。 我的建议是，先问给你做RIE的单位，他们用什么光刻胶做掩蔽层来刻蚀铌酸锂，选择比是多少？按照你的刻蚀深度计算出需要的厚度，然后你也去买相同或者类似的光刻胶，再做你的光刻。买胶可以从苏州锐材买小包的，省一点。 |
5楼2014-11-24 13:46:55
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2014-11-21 12:30:50
wj0702114081
金虫 (正式写手)
学神的奴隶
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 752.4
- 散金: 59
- 红花: 13
- 帖子: 364
- 在线: 148小时
- 虫号: 1013700
- 注册: 2010-05-08
- 专业: 光学
3楼2014-11-21 19:39:48
exciting73
金虫 (著名写手)
- 应助: 110 (高中生)
- 金币: 579.9
- 红花: 20
- 帖子: 1785
- 在线: 272.7小时
- 虫号: 1946276
- 注册: 2012-08-19
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
4楼2014-11-24 12:10:05
