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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有没有使用 AZ 40 XT 光刻胶的同学，交流一下。
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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真空涨落

木虫 (小有名气)

[交流] 有没有使用 AZ 40 XT 光刻胶的同学，交流一下。

如题，谢谢
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物含妙理总堪寻
1楼 2014-09-26 16:34:09
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复！ 2014-09-26 23:08:54
真空涨落: 金币+5, 谢谢，继续交流哇？ 2014-09-26 23:16:02
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定
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2楼2014-09-26 18:03:36
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普通回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-26 18:03:36
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定

谢谢你啦，每次都是你回复我~
现在不考虑成本了，我师姐使用了这个，所以继续用的。
什么是spray coating？
我要一般做80um以上，甩两次胶~还有40um左右，关键是后续步骤，使用reflow工艺的，使光刻胶变形，尽量圆滑。。
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物含妙理总堪寻
3楼2014-09-26 23:14:59
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真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-26 18:03:36
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定

还有，你真是光刻方面的专家呀！什么时候可以去参观下你的实验室吗？想深入交流耶~
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物含妙理总堪寻
4楼2014-09-26 23:17:46
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exciting73

金虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复 2014-09-29 00:25:59
引用回帖:
3楼: Originally posted by 真空涨落 at 2014-09-26 23:14:59
谢谢你啦，每次都是你回复我~
现在不考虑成本了，我师姐使用了这个，所以继续用的。
什么是spray coating？
我要一般做80um以上，甩两次胶~还有40um左右，关键是后续步骤，使用reflow工艺的，使光刻胶变形，尽量 ...

spray coating就是喷涂。
你是通过reflow工艺做馒头状的结构吗？这个还是用正胶好一些。AZ 40 XT的效果怎么样？
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5楼2014-09-27 09:38:14
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢 2014-09-29 00:27:31
引用回帖:
3楼: Originally posted by 真空涨落 at 2014-09-26 23:14:59
谢谢你啦，每次都是你回复我~
现在不考虑成本了，我师姐使用了这个，所以继续用的。
什么是spray coating？
我要一般做80um以上，甩两次胶~还有40um左右，关键是后续步骤，使用reflow工艺的，使光刻胶变形，尽量 ...

spray coating 可以涂很厚的胶，在厚胶方面，均匀性比旋涂要好。而且一般厚胶贵，用spray会很省胶。最好的是，spray可以扩大光刻胶的使用范围，比如原来旋涂40um的，喷成80um一样用。设备可以看www.memstools.cn这个网站。
以前做过4620的reflow，还是比较容易reflow的。但是要是做80um就不行了，即使喷胶也不行，光刻的时候会有泡。
AZ的XT系列可以按厚度买，比如你的40XT就是40um标准厚度。有100XT的。
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6楼2014-09-28 21:29:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
真空涨落: 金币+1, 好吧，谢谢！ 2014-09-29 00:29:55
引用回帖:
4楼: Originally posted by 真空涨落 at 2014-09-26 23:17:46
还有，你真是光刻方面的专家呀！什么时候可以去参观下你的实验室吗？想深入交流耶~...

我这儿的实验室没啥好参观的，都是自己做的机器和工具。
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7楼2014-09-28 21:31:00
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mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)

蓝博士
★
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复 2014-09-29 00:27:56
blessing
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蓝精灵
8楼2014-09-28 22:02:06
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真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by exciting73 at 2014-09-27 09:38:14
spray coating就是喷涂。
你是通过reflow工艺做馒头状的结构吗？这个还是用正胶好一些。AZ 40 XT的效果怎么样？...

是的，效果还行，不过很难操作。
光刻胶的特性难以把握，经常有气泡。
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物含妙理总堪寻
9楼2014-09-29 00:26:58
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真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-28 21:29:41
spray coating 可以涂很厚的胶，在厚胶方面，均匀性比旋涂要好。而且一般厚胶贵，用spray会很省胶。最好的是，spray可以扩大光刻胶的使用范围，比如原来旋涂40um的，喷成80um一样用。设备可以看www.memstools.cn这 ...

多谢你了。
就是气泡难以消除。。。reflow的温度难以把握。
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物含妙理总堪寻
10楼2014-09-29 00:29:28
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