应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有没有使用 AZ 40 XT 光刻胶的同学，交流一下。
191/2返回列表12下一页
查看: 3417  |  回复: 18
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

真空涨落

木虫 (小有名气)

[交流] 有没有使用 AZ 40 XT 光刻胶的同学，交流一下。

如题，谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
物含妙理总堪寻
1楼 2014-09-26 16:34:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复！ 2014-09-26 23:08:54
真空涨落: 金币+5, 谢谢，继续交流哇？ 2014-09-26 23:16:02
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2014-09-26 18:03:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-26 18:03:36
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定

谢谢你啦，每次都是你回复我~
现在不考虑成本了，我师姐使用了这个，所以继续用的。
什么是spray coating？
我要一般做80um以上，甩两次胶~还有40um左右，关键是后续步骤，使用reflow工艺的，使光刻胶变形，尽量圆滑。。
赞一下 回复此楼
物含妙理总堪寻
3楼2014-09-26 23:14:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-26 18:03:36
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定

还有，你真是光刻方面的专家呀！什么时候可以去参观下你的实验室吗？想深入交流耶~
赞一下 回复此楼
物含妙理总堪寻
4楼2014-09-26 23:17:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复 2014-09-29 00:25:59
引用回帖:
3楼: Originally posted by 真空涨落 at 2014-09-26 23:14:59
谢谢你啦，每次都是你回复我~
现在不考虑成本了，我师姐使用了这个，所以继续用的。
什么是spray coating？
我要一般做80um以上，甩两次胶~还有40um左右，关键是后续步骤，使用reflow工艺的，使光刻胶变形，尽量 ...

spray coating就是喷涂。
你是通过reflow工艺做馒头状的结构吗？这个还是用正胶好一些。AZ 40 XT的效果怎么样？
赞一下 回复此楼
5楼2014-09-27 09:38:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢 2014-09-29 00:27:31
引用回帖:
3楼: Originally posted by 真空涨落 at 2014-09-26 23:14:59
谢谢你啦，每次都是你回复我~
现在不考虑成本了，我师姐使用了这个，所以继续用的。
什么是spray coating？
我要一般做80um以上，甩两次胶~还有40um左右，关键是后续步骤，使用reflow工艺的，使光刻胶变形，尽量 ...

spray coating 可以涂很厚的胶，在厚胶方面，均匀性比旋涂要好。而且一般厚胶贵，用spray会很省胶。最好的是，spray可以扩大光刻胶的使用范围，比如原来旋涂40um的，喷成80um一样用。设备可以看www.memstools.cn这个网站。
以前做过4620的reflow，还是比较容易reflow的。但是要是做80um就不行了，即使喷胶也不行，光刻的时候会有泡。
AZ的XT系列可以按厚度买，比如你的40XT就是40um标准厚度。有100XT的。
赞一下 回复此楼
6楼2014-09-28 21:29:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
真空涨落: 金币+1, 好吧，谢谢！ 2014-09-29 00:29:55
引用回帖:
4楼: Originally posted by 真空涨落 at 2014-09-26 23:17:46
还有，你真是光刻方面的专家呀！什么时候可以去参观下你的实验室吗？想深入交流耶~...

我这儿的实验室没啥好参观的，都是自己做的机器和工具。
赞一下 回复此楼
7楼2014-09-28 21:31:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mlanqiang

木虫之王 (文学泰斗)

蓝博士
★
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复 2014-09-29 00:27:56
blessing
回复此楼
蓝精灵
8楼2014-09-28 22:02:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by exciting73 at 2014-09-27 09:38:14
spray coating就是喷涂。
你是通过reflow工艺做馒头状的结构吗？这个还是用正胶好一些。AZ 40 XT的效果怎么样？...

是的，效果还行，不过很难操作。
光刻胶的特性难以把握，经常有气泡。
赞一下 回复此楼
物含妙理总堪寻
9楼2014-09-29 00:26:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-28 21:29:41
spray coating 可以涂很厚的胶，在厚胶方面，均匀性比旋涂要好。而且一般厚胶贵，用spray会很省胶。最好的是，spray可以扩大光刻胶的使用范围，比如原来旋涂40um的，喷成80um一样用。设备可以看www.memstools.cn这 ...

多谢你了。
就是气泡难以消除。。。reflow的温度难以把握。
赞一下 回复此楼
物含妙理总堪寻
10楼2014-09-29 00:29:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 真空涨落 的主题更新
191/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 320求调剂 +4 深郊akm 2026-04-17 4/200 2026-04-17 17:32 by 一切OK
[考研] 294求调剂 +7 淡然654321 2026-04-17 8/400 2026-04-17 16:36 by wutongshun
[考研] 335求调剂 +20 想上岸呀！！ 2026-04-12 23/1150 2026-04-17 10:50 by cuisz
[考研] 279求调剂 +13 张番茄不炒蛋 2026-04-11 13/650 2026-04-17 10:38 by cuisz
[考研] 297，工科调剂?河南农业大学本科 +14 河南农业大学-能 2026-04-14 14/700 2026-04-16 14:41 by dingyanbo1
[考博] 申博自荐 +3 Linxia林夏 2026-04-13 3/150 2026-04-16 12:55 by 墨荷之露
[基金申请] RY：中国产出的科学垃圾论文，绝对数量和比例都世界第一 +7 zju2000 2026-04-14 18/900 2026-04-16 11:36 by 欢乐颂叶蓁
[考研] 0854调剂 +13 长弓傲 2026-04-12 16/800 2026-04-15 13:45 by fenglj492
[考研] 各位老师好，求调剂，本科211，一志愿天津大学生物与医药学硕，差两名录取。 +11 路六六jjj 2026-04-13 11/550 2026-04-14 16:01 by zs92450
[考研] 105500药学求调剂 +4 x_skys 2026-04-12 4/200 2026-04-14 13:37 by rndfc
[考研] 农学0904 312求调剂 +4 Say Never 2026-04-11 4/200 2026-04-14 09:10 by zs92450
[考研] 300分求调剂 （085501机械专硕，本科扬大） +9 xu@841019 2026-04-11 10/500 2026-04-14 08:48 by 木木mumu～
[考研] 2026硕士调剂_能动_河南农业大学 +4 河南农业大学-能 2026-04-12 4/200 2026-04-13 22:01 by bljnqdcc
[考研] 一志愿中南大学 0855 机械 286 求调剂 +11 不会吃肉 2026-04-12 11/550 2026-04-13 21:59 by bljnqdcc
[考研] 0854调剂 +10 长弓傲 2026-04-11 11/550 2026-04-13 10:38 by wp06
[考研] 0831一轮调剂失败求助 +10 小熊睿睿_s 2026-04-11 10/500 2026-04-12 22:43 by 长弓傲
[考研] 一志愿浙大生物325分求调剂 +9 zysheng 2026-04-12 9/450 2026-04-12 22:31 by yuyin1233
[考研] 339求调剂 +8 hanwudada 2026-04-11 9/450 2026-04-12 15:36 by laoshidan
[考研] 调剂 +5 文道星台 2026-04-11 5/250 2026-04-11 15:01 by 凯凯要变帅
[考研] 一志愿985机械学硕380求调剂 +5 关关雎鸠10 2026-04-11 5/250 2026-04-11 10:10 by 知念。A
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭