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有没有使用 AZ 40 XT 光刻胶的同学，交流一下。
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yswyx 
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2楼2014-09-26 18:03:36
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5楼2014-09-27 09:38:14
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spray coating 可以涂很厚的胶，在厚胶方面，均匀性比旋涂要好。而且一般厚胶贵，用spray会很省胶。最好的是，spray可以扩大光刻胶的使用范围，比如原来旋涂40um的，喷成80um一样用。设备可以看www.memstools.cn这个网站。 以前做过4620的reflow，还是比较容易reflow的。但是要是做80um就不行了，即使喷胶也不行，光刻的时候会有泡。 AZ的XT系列可以按厚度买，比如你的40XT就是40um标准厚度。有100XT的。 |
6楼2014-09-28 21:29:41
yswyx
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7楼2014-09-28 21:31:00
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