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楼1970-01-01 08:00:00
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yswyx
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢 2014-09-29 00:27:31
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢 2014-09-29 00:27:31
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spray coating 可以涂很厚的胶，在厚胶方面，均匀性比旋涂要好。而且一般厚胶贵，用spray会很省胶。最好的是，spray可以扩大光刻胶的使用范围，比如原来旋涂40um的，喷成80um一样用。设备可以看www.memstools.cn这个网站。 以前做过4620的reflow，还是比较容易reflow的。但是要是做80um就不行了，即使喷胶也不行，光刻的时候会有泡。 AZ的XT系列可以按厚度买，比如你的40XT就是40um标准厚度。有100XT的。 |
回复此楼6楼2014-09-28 21:29:41
yswyx 
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2楼2014-09-26 18:03:36
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