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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 大家好，请问大多数正性光刻胶和盐酸反应吗，有哪些光刻胶分辨率能达到30nm
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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] 大家好，请问大多数正性光刻胶和盐酸反应吗，有哪些光刻胶分辨率能达到30nm 已有2人参与

大家好,中秋节快乐！ 请问大多数正性光刻胶和盐酸反应吗,有哪些光刻胶分辨率能达到30nm. 虫友们请驻足啊
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1楼 2014-09-06 12:25:52
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木星人士

新虫 (正式写手)
针对400nm的入射光
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2楼2014-09-06 12:39:20
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木星人士

新虫 (正式写手)
自己顶一下！:-D

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3楼2014-09-11 12:34:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
2楼: Originally posted by 木星人士 at 2014-09-06 12:39:20
针对400nm的入射光

你用400nm的入射光，怎么可能得到30nm的线条？？？
即使是衍射光学，也没有办法达到这么小的尺寸。
你最好把你要做什么描述清楚。

光刻胶一般只能抗一段时间盐酸。
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4楼2014-09-12 12:59:52
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

30nm或许DUV或者电子束刻蚀可能可以达到这个精度，fab里应该会用到这些胶，但是学校实验室之类大概供货商都不会睬你
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5楼2014-09-12 13:30:06
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木星人士

新虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-12 12:59:52
你用400nm的入射光，怎么可能得到30nm的线条？？？
即使是衍射光学，也没有办法达到这么小的尺寸。
你最好把你要做什么描述清楚。

光刻胶一般只能抗一段时间盐酸。...

正性光刻胶抗磷酸吗？

[ 发自小木虫客户端 ]
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6楼2014-09-12 18:21:23
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