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木星人士

新虫 (正式写手)

应助: 2 (幼儿园)
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虫号: 2453667
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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 大家好，请问大多数正性光刻胶和盐酸反应吗，有哪些光刻胶分辨率能达到30nm 已有2人参与

大家好,中秋节快乐！

请问大多数正性光刻胶和盐酸反应吗,有哪些光刻胶分辨率能达到30nm. 虫友们请驻足啊

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1楼 2014-09-06 12:25:52

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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

30nm或许DUV或者电子束刻蚀可能可以达到这个精度，fab里应该会用到这些胶，但是学校实验室之类大概供货商都不会睬你

5楼2014-09-12 13:30:06

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