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1970-01-01 08:00:00
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智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

真空涨落

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-28 21:29:41
spray coating 可以涂很厚的胶,在厚胶方面,均匀性比旋涂要好。而且一般厚胶贵,用spray会很省胶。最好的是,spray可以扩大光刻胶的使用范围,比如原来旋涂40um的,喷成80um一样用。设备可以看www.memstools.cn这 ...

多谢你了。
就是气泡难以消除。。。reflow的温度难以把握。
物含妙理总堪寻
10楼2014-09-29 00:29:28
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复! 2014-09-26 23:08:54
真空涨落: 金币+5, 谢谢,继续交流哇? 2014-09-26 23:16:02
他们家的胶基本不用,贵的太不合理。
像40um的厚度,我一般就用负胶了。
如果一定要正胶,我就spray coating搞定
2楼2014-09-26 18:03:36
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真空涨落

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-26 18:03:36
他们家的胶基本不用,贵的太不合理。
像40um的厚度,我一般就用负胶了。
如果一定要正胶,我就spray coating搞定

谢谢你啦,每次都是你回复我~
现在不考虑成本了,我师姐使用了这个,所以继续用的。
什么是spray coating?
我要一般做80um以上,甩两次胶~还有40um左右,关键是后续步骤,使用reflow工艺的,使光刻胶变形,尽量圆滑。。
物含妙理总堪寻
3楼2014-09-26 23:14:59
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真空涨落

木虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-26 18:03:36
他们家的胶基本不用,贵的太不合理。
像40um的厚度,我一般就用负胶了。
如果一定要正胶,我就spray coating搞定

还有,你真是光刻方面的专家呀!什么时候可以去参观下你的实验室吗?想深入交流耶~
物含妙理总堪寻
4楼2014-09-26 23:17:46
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