应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 有没有使用 AZ 40 XT 光刻胶的同学，交流一下。
51/1返回列表
查看: 3202  |  回复: 18
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

楼1970-01-01 08:00:00
 已阅   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子，希望有用哦~

科研从小木虫开始，人人为我，我为人人

exciting73

金虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复 2014-09-29 00:25:59
引用回帖:
3楼: Originally posted by 真空涨落 at 2014-09-26 23:14:59
谢谢你啦，每次都是你回复我~
现在不考虑成本了，我师姐使用了这个，所以继续用的。
什么是spray coating？
我要一般做80um以上，甩两次胶~还有40um左右，关键是后续步骤，使用reflow工艺的，使光刻胶变形，尽量 ...

spray coating就是喷涂。
你是通过reflow工艺做馒头状的结构吗？这个还是用正胶好一些。AZ 40 XT的效果怎么样？
赞一下 回复此楼
5楼2014-09-27 09:38:14
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空涨落: 金币+1, 谢谢回复！ 2014-09-26 23:08:54
真空涨落: 金币+5, 谢谢，继续交流哇？ 2014-09-26 23:16:02
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2014-09-26 18:03:36
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-26 18:03:36
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定

谢谢你啦，每次都是你回复我~
现在不考虑成本了，我师姐使用了这个，所以继续用的。
什么是spray coating？
我要一般做80um以上，甩两次胶~还有40um左右，关键是后续步骤，使用reflow工艺的，使光刻胶变形，尽量圆滑。。
赞一下 回复此楼
物含妙理总堪寻
3楼2014-09-26 23:14:59
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-26 18:03:36
他们家的胶基本不用，贵的太不合理。
像40um的厚度，我一般就用负胶了。
如果一定要正胶，我就spray coating搞定

还有，你真是光刻方面的专家呀！什么时候可以去参观下你的实验室吗？想深入交流耶~
赞一下 回复此楼
物含妙理总堪寻
4楼2014-09-26 23:17:46
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭