24小时热门版块排行榜    

查看: 1825  |  回复: 9
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)

[求助] 紫外光刻厚胶,用于掩蔽

工艺需要4微米左右的厚胶就好了,图形是3-4微米间隔。我光刻的成了碗型。使用胶i7010正胶(好像是AZ的)
有什么好方法可以使侧壁陡直?包括前烘,曝光,显影,后烘等等,甚至浸泡二甲苯。。。
谢谢各位大神啦

SEM照片
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复 实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

物含妙理总堪寻
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
真空涨落: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢,我会试试 2012-12-05 07:32:18
考虑延长曝光时间或者延长显影时间
5楼2012-12-04 23:22:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

真空涨落

木虫 (小有名气)

顶一下,怎么没人回复。。。
物含妙理总堪寻
2楼2012-12-01 21:33:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
真空涨落: 金币+10, 谢谢,每次都是您帮我。 2012-12-05 07:32:43
为什么不用hard mask来加一层掩蔽,这样不就可以用比较薄的胶来做工艺了啊。比如你长一层金属或者是SiO,然后再用高分辨率的光刻胶,比如我们的i1000,然后吧SiO窗口打开,然后再做注入。打开窗口你可以用RIE,相对比较陡直。这样的话就不用扣光刻工艺了,高分辨率胶得到的垂直结果肯定比厚胶要好很多啊。
i7010是稻化学的,以前是shipley。
4楼2012-12-04 14:44:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

真空涨落

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2012-12-04 14:44:19
为什么不用hard mask来加一层掩蔽,这样不就可以用比较薄的胶来做工艺了啊。比如你长一层金属或者是SiO,然后再用高分辨率的光刻胶,比如我们的i1000,然后吧SiO窗口打开,然后再做注入。打开窗口你可以用RIE,相对 ...

我们之前是用RIE和ICP SiO2的,可是多工序不说,关键是也不陡直,所以放弃了那个,专门用胶掩蔽的。
物含妙理总堪寻
6楼2012-12-05 07:34:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 333求调剂 +3 文思客 2026-03-16 7/350 2026-03-16 18:21 by 文思客
[考研] 梁成伟老师课题组欢迎你的加入 +8 一鸭鸭哟 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:35 by 沐霖12138
[考研] 一志愿211 0703方向310分求调剂 +3 努力奋斗112 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:44 by houyaoxu
[考研] 26考研一志愿中国石油大学(华东)305分求调剂 +3 嘉年新程 2026-03-15 3/150 2026-03-15 13:58 by 哈哈哈哈嘿嘿嘿
[考研] 26考研调剂 +3 ying123. 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:18 by JourneyLucky
[考研] 材料工程,326分,求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 求材料调剂 +5 隔壁陈先生 2026-03-12 5/250 2026-03-13 22:03 by 星空星月
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +6 步川酷紫123 2026-03-13 6/300 2026-03-13 21:59 by 星空星月
[考研] 329求调剂 +3 miaodesi 2026-03-12 4/200 2026-03-13 20:53 by 18595523086
[考研] 材料与化工085600调剂求老师收留 +9 jiaanl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 20:22 by JourneyLucky
[考研] 【考研调剂求收留】 +3 Ceciilia 2026-03-11 3/150 2026-03-13 20:18 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +7 18880831720 2026-03-11 7/350 2026-03-13 16:10 by JourneyLucky
[考研] 工科278分求调剂 +5 周慢热啊 2026-03-12 7/350 2026-03-13 15:49 by JourneyLucky
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +4 薛云鹏 2026-03-13 4/200 2026-03-13 10:40 by 学员8dgXkO
[考研] 08食品或轻工求调剂,本科发表3篇sci一区top论文,一志愿南师大食品科学与工程 +3 我是一个兵, 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:21 by Yuyi.
[考研] 321求调剂(食品/专硕) +3 xc321 2026-03-12 6/300 2026-03-13 08:45 by xc321
[考博] 2026年博士申请 +3 QwQwQW10 2026-03-11 3/150 2026-03-12 17:58 by gxch43
[考研] 420求调剂 +4 莫向外求11 2026-03-10 6/300 2026-03-12 14:41 by ruiyingmiao
[考研] 大连大学化学专业研究生调剂 +3 琪久. 2026-03-10 8/400 2026-03-11 10:02 by 琪久.
[考研] 调剂 +5 呵唔哦豁 2026-03-10 5/250 2026-03-10 22:00 by 28375m
信息提示
请填处理意见