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真空涨落

木虫 (小有名气)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 4291
散金: 242
红花: 14
帖子: 244
在线: 149.7小时
虫号: 1628088
注册: 2012-02-20
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 紫外光刻厚胶，用于掩蔽

工艺需要4微米左右的厚胶就好了，图形是3-4微米间隔。我光刻的成了碗型。使用胶i7010正胶（好像是AZ的）
有什么好方法可以使侧壁陡直？包括前烘，曝光，显影，后烘等等，甚至浸泡二甲苯。。。
谢谢各位大神啦

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物含妙理总堪寻

1楼 2012-11-30 07:50:27

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xuanyaliudon

新虫 (初入文坛)

本帖内容被屏蔽

10楼2013-05-14 10:08:06

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