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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 制备成型 » 石英 二氧化硅 SiO2 颗粒 靶材制备
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fjyxf

铁虫 (小有名气)

[交流] 石英 二氧化硅 SiO2 颗粒 靶材制备 已有1人参与

现在比较方便的二氧化硅颗粒（1-5mm）靶材的制备工艺有哪些？

[ Last edited by fjyxf on 2012-6-20 at 11:45 ]
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1楼 2012-06-20 11:44:14
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
★
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如果是用于PLA，要用固相烧结工艺制备，约1200度，3h就可以了。
如果用于sputter，找块熔融制备的石英靶就可以了。
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3楼2012-08-28 19:24:37
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