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332585347

木虫 (小有名气)

天蓝的世界

[交流] 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法 已有11人参与

我现在是研一学生,做光伏这方面的,导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层,我查了些文献,大多数都要通入气氛或是物理化学沉积,我这边设备有限,各位仁兄们,有没有比较简便的方法????????????
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O(∩_∩)O哈哈哈~
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BK2008

木虫 (小有名气)

引用回帖:
Originally posted by 332585347 at 2010-11-06 19:46:18:
我现在是研一学生,做光伏这方面的,导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层,我查了些文献,大多数都要通入气氛或是物理化学沉积,我这边设备有限,各位仁兄们,有没有比较简便的方法????????? ...

HEAT+OXYGEN
2楼2010-11-06 23:17:21
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hao123czq8878

金虫 (正式写手)

空气中加热就行了!
3楼2010-11-09 20:07:02
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zhuge456

铁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
看看溶胶法行不行,我们这边都是用PECVD做的,溶胶法没有做过
简单的生活,简单的人生,简单的梦想
4楼2010-11-09 20:27:19
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benxiaohaimo

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
通氧在高温下加热,不同温度和不同时间可以氧化成你所需的膜的厚度,或者你可以叫别人帮你做上去
开心每一天
5楼2010-11-09 22:08:56
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orchid8299

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我们都是用热氧化的方法。干氧的话,比较致密,但是时间很长,湿氧的话,就可能没那么致密,但时间短。
在石英管内,通氧气。
6楼2010-11-23 15:01:10
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hellodavid

金虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
热氧化,分干氧湿氧,还有一种TCA氧化
7楼2010-11-25 14:01:45
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yiayia1021

木虫 (职业作家)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
在空气中放几个月至几年,硅片表面就有SiO2
8楼2010-11-25 15:43:19
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09kaoyanwyt

铁虫 (初入文坛)

sol-gel也ok的
云南大学材料加工工程研究生
9楼2010-11-28 22:08:58
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zhaixl1985

金虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
在氧气氛中退火也可以!
是谁苍白了我的等待,讽刺了我的执着!
10楼2010-12-05 16:30:57
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