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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 新能源材料 » 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法
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332585347

木虫 (小有名气)

天蓝的世界

[交流] 【求助】在硅衬底上长二氧化硅薄膜的方法 已有11人参与

我现在是研一学生，做光伏这方面的，导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层，我查了些文献，大多数都要通入气氛或是物理化学沉积，我这边设备有限，各位仁兄们，有没有比较简便的方法？？？？？？？？？？？？
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O(∩_∩)O哈哈哈~
1楼 2010-11-06 19:46:18
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BK2008

木虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by 332585347 at 2010-11-06 19:46:18:
我现在是研一学生，做光伏这方面的，导师叫我做在硅衬底上长二氧化硅薄膜作为减反射层，我查了些文献，大多数都要通入气氛或是物理化学沉积，我这边设备有限，各位仁兄们，有没有比较简便的方法？？？？？？？？？ ...

HEAT+OXYGEN
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2楼2010-11-06 23:17:21
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hao123czq8878

金虫 (正式写手)
空气中加热就行了！
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3楼2010-11-09 20:07:02
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zhuge456

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
看看溶胶法行不行，我们这边都是用PECVD做的，溶胶法没有做过
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简单的生活，简单的人生，简单的梦想
4楼2010-11-09 20:27:19
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benxiaohaimo

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
通氧在高温下加热，不同温度和不同时间可以氧化成你所需的膜的厚度，或者你可以叫别人帮你做上去
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开心每一天
5楼2010-11-09 22:08:56
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orchid8299

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我们都是用热氧化的方法。干氧的话，比较致密，但是时间很长，湿氧的话，就可能没那么致密，但时间短。
在石英管内，通氧气。
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6楼2010-11-23 15:01:10
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hellodavid

金虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
热氧化，分干氧湿氧，还有一种TCA氧化
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7楼2010-11-25 14:01:45
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yiayia1021

木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
在空气中放几个月至几年，硅片表面就有SiO2
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8楼2010-11-25 15:43:19
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09kaoyanwyt

铁虫 (初入文坛)
sol-gel也ok的
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云南大学材料加工工程研究生
9楼2010-11-28 22:08:58
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zhaixl1985

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
在氧气氛中退火也可以！
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是谁苍白了我的等待，讽刺了我的执着！
10楼2010-12-05 16:30:57
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