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ZGmse木虫 (小有名气)
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在Si衬底上得到SiO2薄膜
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| 请问哪位虫友知道如何在Si衬底上沉积一层一定厚度的SiO2薄膜？（用磁控溅射或者E-beam，不晓得具体参数） 或者，有什么方法可以直接在Si片上长出SiO2薄膜来（能控制厚度的）？谢谢！！ |
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【答案】应助回帖
ZGmse(金币+6): 非常感谢！本帖剩下的金币全部送上。 2011-05-08 22:53:13
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以当当网中的“半导体技术”为例： http://list.dangdang.com/book/01.63.07.04.html 半导体制造技术 第10章 氧化 10.1 引言 10.2 氧化膜 10.3 热氧化生长 10.4 高温炉设备 10.5 卧式与立式炉 10.6 氧化工艺 10.7 质量测量 10.8 氧化检查及故障排除 10.9 小结 芯片制造——半导体工艺制程实用教程（第五版） 第7章 氧化 半导体制造工艺基础 第3章 硅的氧化 3.1 热氧化过程 3.2 氧化过程中的杂质再分布 3.3 二氧化硅的掩模特性 3.4 氧化质量 3.5 氧化层厚度特性 3.6 氧化模拟 3.7 总结 硅超大规模集成电路工艺技术：理论、实践与模型：Silicon VLSITechnology Fundamentals，Practice and Modeling PS：最近三四年，国内也出版了一些半导体工业和集成电路制造的书籍，也可参考 |
4楼2011-05-06 08:59:14
weifengliu
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