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一片儿陶客金虫 (小有名气)
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跪求：本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜，但始终得不到其钙钛矿结构
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本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜，但始终得不到其钙钛矿结构 白金衬底（111）面 0.9PZN-0.1PT的靶材 腔体通入氧气，氧压0.1Pa时，沉底温度从400度到750度，得到薄膜XRD图像显示有钙钛矿相，但EDS显示薄膜中无铅和锌元素 氧压10以上Pa时，沉底温度从400度到750度，得到薄膜XRD图像显示烧绿石相 现在已试过很多参数，仍无结果，望高手给予指点 先谢过 |
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2楼2012-04-29 17:28:12
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【答案】应助回帖
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一片儿陶客: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-05-03 18:24:49
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| 1.可以先告诉你的一点就是，EDS的结果仅供参考，要做XPS或者AFM；2.我觉得你的温度太低了，完全可以超过700度做，不然没办法结晶，不要怕挥发，当然温度太高也不行，700.800应该没问题；3.氧压不能太高，10左右应该差不多了；4.激光的频率和能量估计不行，温度高的时候，频率最好大一点，温度低的时候频率可以小一点；5.沉积时间久不一定是好事，或许挥发的更多 |
7楼2012-05-02 19:59:52
wiseroy
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