应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 跪求：本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜，但始终得不到其钙钛矿结构
81/1返回列表
查看: 1719  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

一片儿陶客

金虫 (小有名气)

[求助] 跪求：本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜，但始终得不到其钙钛矿结构

本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜，但始终得不到其钙钛矿结构

白金衬底（111）面

0.9PZN-0.1PT的靶材

腔体通入氧气，氧压0.1Pa时，沉底温度从400度到750度，得到薄膜XRD图像显示有钙钛矿相，但EDS显示薄膜中无铅和锌元素

氧压10以上Pa时，沉底温度从400度到750度，得到薄膜XRD图像显示烧绿石相

现在已试过很多参数，仍无结果，望高手给予指点

先谢过
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

多铁材料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
铁电新人
1楼 2012-04-29 16:22:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
一片儿陶客: 金币+1, ★有帮助 2012-04-30 14:53:24
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 08:00:07
兄弟, 这个难度太大了。你最好先在单晶衬底上做，这样工艺条件更好找一些。
赞一下 回复此楼
2楼2012-04-29 17:28:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tequila2008

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 07:59:58

总结一下你的问题：
1  0.1pa氧压下无Pb和Zn
2  10pa下不能得到钙钛矿结构

1  薄膜厚度多少？试着做一下薄膜的深度剖析，看看内部是否含有二元素
2  温度还能不能进一步提升？热电偶测温，可能高于实际温度，也就是还需要进一步加温
对PZT不懂，只能给点肤浅的建议
赞一下 回复此楼
3楼2012-04-29 21:37:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

一片儿陶客

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mse507 at 2012-04-29 17:28:12:
兄弟, 这个难度太大了。你最好先在单晶衬底上做，这样工艺条件更好找一些。

单晶衬底成本太高
赞一下 回复此楼
铁电新人
4楼2012-04-30 14:52:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

一片儿陶客

金虫 (小有名气)
自己顶一下
难道做铁电薄膜的这么少
赞一下 回复此楼
铁电新人
5楼2012-05-01 12:07:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
一片儿陶客: 金币+10, 谢谢 2012-05-02 16:31:08
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 07:59:48
主要有两个问题，一是一般有易挥发的元素用高氧压，时间稍微长一点，温度700多，效果可能好一点；二是EDS是测表面微区成分，有时不怎么准，是否可以用XPS呢，看看说不定你的低氧那个就可以啦，呵呵，一点小建议。
赞一下 回复此楼
6楼2012-05-01 21:30:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 07:59:37
一片儿陶客: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-05-03 18:24:49
1.可以先告诉你的一点就是，EDS的结果仅供参考，要做XPS或者AFM；2.我觉得你的温度太低了，完全可以超过700度做，不然没办法结晶，不要怕挥发，当然温度太高也不行，700.800应该没问题；3.氧压不能太高，10左右应该差不多了；4.激光的频率和能量估计不行，温度高的时候，频率最好大一点，温度低的时候频率可以小一点；5.沉积时间久不一定是好事，或许挥发的更多
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2012-05-02 19:59:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

【答案】应助回帖

就用0.1Pa，700以上温度 。靶材最好Pb等过量。
赞一下 回复此楼
善良
8楼2013-05-05 19:25:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 一片儿陶客 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 什么时候开奖？ +8 CrisMessi 2026-08-18 9/450 2026-08-23 10:49 by 旋风马1987
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 9/450 2026-08-23 10:44 by IXZuIJ2Q7OVy
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 5/250 2026-08-23 04:07 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 7/350 2026-08-23 03:43 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QTy3jDtz1uLt 2026-08-21 9/450 2026-08-23 03:04 by OEbVnUOu01ol
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 3/150 2026-08-23 00:55 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +16 医学老男孩 2026-08-20 20/1000 2026-08-21 21:13 by Ldrop2023
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 我面上完蛋了 +7 且听虎啸 2026-08-20 8/400 2026-08-21 12:31 by 酷酷墨镜
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭