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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 跪求：本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜，但始终得不到其钙钛矿结构
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一片儿陶客

金虫 (小有名气)

[求助] 跪求：本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜，但始终得不到其钙钛矿结构

本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜，但始终得不到其钙钛矿结构

白金衬底（111）面

0.9PZN-0.1PT的靶材

腔体通入氧气，氧压0.1Pa时，沉底温度从400度到750度，得到薄膜XRD图像显示有钙钛矿相，但EDS显示薄膜中无铅和锌元素

氧压10以上Pa时，沉底温度从400度到750度，得到薄膜XRD图像显示烧绿石相

现在已试过很多参数，仍无结果，望高手给予指点

先谢过
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铁电新人
1楼2012-04-29 16:22:25
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
一片儿陶客: 金币+1, ★有帮助 2012-04-30 14:53:24
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 08:00:07
兄弟, 这个难度太大了。你最好先在单晶衬底上做，这样工艺条件更好找一些。
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2楼2012-04-29 17:28:12
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tequila2008

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 07:59:58

总结一下你的问题：
1  0.1pa氧压下无Pb和Zn
2  10pa下不能得到钙钛矿结构

1  薄膜厚度多少？试着做一下薄膜的深度剖析，看看内部是否含有二元素
2  温度还能不能进一步提升？热电偶测温，可能高于实际温度，也就是还需要进一步加温
对PZT不懂，只能给点肤浅的建议
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3楼2012-04-29 21:37:29
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一片儿陶客

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mse507 at 2012-04-29 17:28:12:
兄弟, 这个难度太大了。你最好先在单晶衬底上做，这样工艺条件更好找一些。

单晶衬底成本太高
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铁电新人
4楼2012-04-30 14:52:44
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一片儿陶客

金虫 (小有名气)
自己顶一下
难道做铁电薄膜的这么少
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铁电新人
5楼2012-05-01 12:07:46
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zmm870305

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
一片儿陶客: 金币+10, 谢谢 2012-05-02 16:31:08
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 07:59:48
主要有两个问题，一是一般有易挥发的元素用高氧压，时间稍微长一点，温度700多，效果可能好一点；二是EDS是测表面微区成分，有时不怎么准，是否可以用XPS呢，看看说不定你的低氧那个就可以啦，呵呵，一点小建议。
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6楼2012-05-01 21:30:35
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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 07:59:37
一片儿陶客: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-05-03 18:24:49
1.可以先告诉你的一点就是，EDS的结果仅供参考，要做XPS或者AFM；2.我觉得你的温度太低了，完全可以超过700度做，不然没办法结晶，不要怕挥发，当然温度太高也不行，700.800应该没问题；3.氧压不能太高，10左右应该差不多了；4.激光的频率和能量估计不行，温度高的时候，频率最好大一点，温度低的时候频率可以小一点；5.沉积时间久不一定是好事，或许挥发的更多
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7楼2012-05-02 19:59:52
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

【答案】应助回帖

就用0.1Pa，700以上温度 。靶材最好Pb等过量。
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善良
8楼2013-05-05 19:25:56
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