24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
查看: 1419  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

一片儿陶客

金虫 (小有名气)

[求助] 跪求:本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜,但始终得不到其钙钛矿结构

本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜,但始终得不到其钙钛矿结构

白金衬底(111)面

0.9PZN-0.1PT的靶材

腔体通入氧气,氧压0.1Pa时,沉底温度从400度到750度,得到薄膜XRD图像显示有钙钛矿相,但EDS显示薄膜中无铅和锌元素

氧压10以上Pa时,沉底温度从400度到750度,得到薄膜XRD图像显示烧绿石相

现在已试过很多参数,仍无结果,望高手给予指点

先谢过
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

多铁材料

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

铁电新人
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步

【答案】应助回帖

就用0.1Pa,700以上温度 。靶材最好Pb等过量。
善良
8楼2013-05-05 19:25:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
一片儿陶客: 金币+1, 有帮助 2012-04-30 14:53:24
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 08:00:07
兄弟, 这个难度太大了。你最好先在单晶衬底上做,这样工艺条件更好找一些。
2楼2012-04-29 17:28:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tequila2008

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 07:59:58

总结一下你的问题:
1  0.1pa氧压下无Pb和Zn
2  10pa下不能得到钙钛矿结构

1  薄膜厚度多少?试着做一下薄膜的深度剖析,看看内部是否含有二元素
2  温度还能不能进一步提升?热电偶测温,可能高于实际温度,也就是还需要进一步加温
对PZT不懂,只能给点肤浅的建议
3楼2012-04-29 21:37:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

一片儿陶客

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by mse507 at 2012-04-29 17:28:12:
兄弟, 这个难度太大了。你最好先在单晶衬底上做,这样工艺条件更好找一些。

单晶衬底成本太高
铁电新人
4楼2012-04-30 14:52:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见