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一片儿陶客

金虫 (小有名气)

[求助] 跪求:本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜,但始终得不到其钙钛矿结构

本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜,但始终得不到其钙钛矿结构

白金衬底(111)面

0.9PZN-0.1PT的靶材

腔体通入氧气,氧压0.1Pa时,沉底温度从400度到750度,得到薄膜XRD图像显示有钙钛矿相,但EDS显示薄膜中无铅和锌元素

氧压10以上Pa时,沉底温度从400度到750度,得到薄膜XRD图像显示烧绿石相

现在已试过很多参数,仍无结果,望高手给予指点

先谢过
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mse507

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
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一片儿陶客: 金币+1, 有帮助 2012-04-30 14:53:24
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-03 08:00:07
兄弟, 这个难度太大了。你最好先在单晶衬底上做,这样工艺条件更好找一些。
2楼2012-04-29 17:28:12
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