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xj170701059

新虫 (小有名气)

[求助] 求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!!!!PLD

我想用PLD法在SiO2,Si上镀Ag电极,找了好多文献,都没有。
求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!比如基底温度,真空度,?J/cm2,沉积时间,要不要退火,靶衬间距,电极一般要多厚?等
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boyshen

至尊木虫 (正式写手)

话说工艺要自己摸 哪有什么都别人直接告诉你的
2楼2012-04-19 10:11:26
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liulu008

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 13:14:29
电极一般不需要什么工艺的,真空度要高,ag容易氧化的,生长温度我不知道,但是可以室温生长之后采取退火,电极有个100nm就好了,但是时间要自己摸索了,不同激光能量长出来的肯定不一样厚
3楼2012-04-19 11:28:42
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YuDongqi

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 21:07:14
你好,我以前做PLD的,因为就像上面说的,Ag容易氧化,但是PLD一般不会有问题。问题是你用的Ag靶材,Ag不抗刻蚀,还有比较软,所以一是要注意刻蚀的功率不然沉积速率太快,再就是注意不要将靶材打透了。
4楼2012-04-19 16:25:50
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YuDongqi

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 21:07:25
我们镀Ag,一般采用溅射或者蒸发,通过膜厚仪控制厚度
5楼2012-04-19 16:26:58
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xj170701059

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by YuDongqi at 2012-04-19 16:25:50:
你好,我以前做PLD的,因为就像上面说的,Ag容易氧化,但是PLD一般不会有问题。问题是你用的Ag靶材,Ag不抗刻蚀,还有比较软,所以一是要注意刻蚀的功率不然沉积速率太快,再就是注意不要将靶材打透了。

文献上找不到用PLD镀银电极的参数呀,一般得多厚呢?
6楼2012-04-20 17:34:57
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YuDongqi

木虫 (正式写手)

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个人意见,请选择性接收哈,电极通常都做30-50nm,当然也根据材料不同和要实现的功能不同而定,看你做什么器件了
7楼2012-04-23 15:25:16
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