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求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!!!!PLD
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我想用PLD法在SiO2,Si上镀Ag电极，找了好多文献，都没有。 求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数！比如基底温度，真空度，？J/cm2,沉积时间，要不要退火，靶衬间距，电极一般要多厚？等 |
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