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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!!!!PLD
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xj170701059

新虫 (小有名气)

[求助] 求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!!!!PLD

我想用PLD法在SiO2,Si上镀Ag电极，找了好多文献，都没有。
求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数！比如基底温度，真空度，？J/cm2,沉积时间，要不要退火，靶衬间距，电极一般要多厚？等
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1楼 2012-04-19 09:09:33
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boyshen

至尊木虫 (正式写手)
话说工艺要自己摸 哪有什么都别人直接告诉你的
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2楼2012-04-19 10:11:26
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liulu008

木虫 (小有名气)

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★
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nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 13:14:29
电极一般不需要什么工艺的，真空度要高，ag容易氧化的，生长温度我不知道，但是可以室温生长之后采取退火，电极有个100nm就好了，但是时间要自己摸索了，不同激光能量长出来的肯定不一样厚
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3楼2012-04-19 11:28:42
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YuDongqi

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 21:07:14
你好，我以前做PLD的，因为就像上面说的，Ag容易氧化，但是PLD一般不会有问题。问题是你用的Ag靶材，Ag不抗刻蚀，还有比较软，所以一是要注意刻蚀的功率不然沉积速率太快，再就是注意不要将靶材打透了。
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4楼2012-04-19 16:25:50
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YuDongqi

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 21:07:25
我们镀Ag，一般采用溅射或者蒸发，通过膜厚仪控制厚度
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5楼2012-04-19 16:26:58
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xj170701059

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by YuDongqi at 2012-04-19 16:25:50:
你好，我以前做PLD的，因为就像上面说的，Ag容易氧化，但是PLD一般不会有问题。问题是你用的Ag靶材，Ag不抗刻蚀，还有比较软，所以一是要注意刻蚀的功率不然沉积速率太快，再就是注意不要将靶材打透了。

文献上找不到用PLD镀银电极的参数呀，一般得多厚呢？
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6楼2012-04-20 17:34:57
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YuDongqi

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

个人意见，请选择性接收哈，电极通常都做30-50nm，当然也根据材料不同和要实现的功能不同而定，看你做什么器件了
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7楼2012-04-23 15:25:16
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