24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1612  |  回复: 6

xj170701059

新虫 (小有名气)

[求助] 求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!!!!PLD

我想用PLD法在SiO2,Si上镀Ag电极,找了好多文献,都没有。
求在SiO2,Si上镀Ag电极薄膜的参数!比如基底温度,真空度,?J/cm2,沉积时间,要不要退火,靶衬间距,电极一般要多厚?等
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

boyshen

至尊木虫 (正式写手)

话说工艺要自己摸 哪有什么都别人直接告诉你的
2楼2012-04-19 10:11:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liulu008

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 13:14:29
电极一般不需要什么工艺的,真空度要高,ag容易氧化的,生长温度我不知道,但是可以室温生长之后采取退火,电极有个100nm就好了,但是时间要自己摸索了,不同激光能量长出来的肯定不一样厚
3楼2012-04-19 11:28:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

YuDongqi

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 21:07:14
你好,我以前做PLD的,因为就像上面说的,Ag容易氧化,但是PLD一般不会有问题。问题是你用的Ag靶材,Ag不抗刻蚀,还有比较软,所以一是要注意刻蚀的功率不然沉积速率太快,再就是注意不要将靶材打透了。
4楼2012-04-19 16:25:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

YuDongqi

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-04-19 21:07:25
我们镀Ag,一般采用溅射或者蒸发,通过膜厚仪控制厚度
5楼2012-04-19 16:26:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xj170701059

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by YuDongqi at 2012-04-19 16:25:50:
你好,我以前做PLD的,因为就像上面说的,Ag容易氧化,但是PLD一般不会有问题。问题是你用的Ag靶材,Ag不抗刻蚀,还有比较软,所以一是要注意刻蚀的功率不然沉积速率太快,再就是注意不要将靶材打透了。

文献上找不到用PLD镀银电极的参数呀,一般得多厚呢?
6楼2012-04-20 17:34:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

YuDongqi

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

个人意见,请选择性接收哈,电极通常都做30-50nm,当然也根据材料不同和要实现的功能不同而定,看你做什么器件了
7楼2012-04-23 15:25:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xj170701059 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂 +5 苦命人。。。 2026-04-18 6/300 2026-04-19 12:04 by 手机用户
[考研] 300求调剂 +12 橙a777 2026-04-15 12/600 2026-04-18 23:51 by 路病情
[考研] 291求调剂 +10 关忆北. 2026-04-14 10/500 2026-04-18 23:32 by 路病情
[考研] 化学070300 求调剂 +29 哈哈哈^_^ 2026-04-12 29/1450 2026-04-18 15:56 by Equinoxhua
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 急需调剂 +9 绝不放弃22 2026-04-15 10/500 2026-04-18 08:09 by chixmc
[考博] 申博/考博 +3 啃面包的小书虫 2026-04-17 4/200 2026-04-17 23:54 by 阳阳阳^_^
[考研] 化工学硕294分,求导师收留 +33 yzyzx 2026-04-12 37/1850 2026-04-17 23:00 by wunaiy88
[考研] 求调剂 +9 小聂爱学习 2026-04-16 11/550 2026-04-17 22:34 by chixmc
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 一志愿中科大材料与化工,353分还有调剂学校吗 +10 否极泰来2026 2026-04-15 12/600 2026-04-17 17:54 by mapenggao
[考研] 295分求调剂 +5 ?要上岸? 2026-04-17 5/250 2026-04-17 16:51 by fenglj492
[考研] 求调剂推荐 +8 小聂爱学习 2026-04-14 8/400 2026-04-16 07:22 by 学员JpLReM
[考研] 一志愿A区211,22408 321求调剂 +6 随心所欲☆ 2026-04-15 7/350 2026-04-15 21:45 by lbsjt
[考研] 245求调剂 +6 冰糖橘?汽水 2026-04-13 10/500 2026-04-14 10:49 by jyl0317
[考研] 085600材料与化工349分求调剂 +16 李木子啊哈哈 2026-04-12 17/850 2026-04-14 09:11 by fenglj492
[考研] 2026硕士调剂_能动_河南农业大学 +4 河南农业大学-能 2026-04-12 4/200 2026-04-13 22:01 by bljnqdcc
[考研] 一志愿中南大学 0855 机械 286 求调剂 +11 不会吃肉 2026-04-12 11/550 2026-04-13 21:59 by bljnqdcc
[考研] B区0809 ,数一英一,290 求调剂 +3 泠潍1111 2026-04-12 4/200 2026-04-13 20:35 by 学员JpLReM
[考研] 297工科,求调剂? +13 河南农业大学-能 2026-04-12 13/650 2026-04-13 14:12 by dingyanbo1
信息提示
请填处理意见