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跪求:本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜,但始终得不到其钙钛矿结构
本人用PLD在白金衬底上镀PZNT(钛铌锌酸铅)膜,但始终得不到其钙钛矿结构
白金衬底(111)面
0.9PZN-0.1PT的靶材
腔体通入氧气,氧压0.1Pa时,沉底温度从400度到750度,得到薄膜XRD图像显示有钙钛矿相,但EDS显示薄膜中无铅和锌元素
氧压10以上Pa时,沉底温度从400度到750度,得到薄膜XRD图像显示烧绿石相
现在已试过很多参数,仍无结果,望高手给予指点
先谢过 |
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