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彼岸沙洲

金虫 (初入文坛)

[求助] PZT 薄膜 基板的选择 不同的基板所针对的应用领域区别？？？？

最近在做PZT薄膜。溶胶凝胶法和水热法都有用到，看到不同的衬底选择，有的是用Si，有的是Si/SiO2/Ti/Pt,有的是Ti，有的是STO，想了解下不同基板所针对的应用领域有哪些，以及我们选择基板的依据应该是什么？迫切的想要知道，请各位大侠不吝赐教！！！！！！
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1楼 2011-12-06 14:11:57
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回帖置顶 ( 共有1个 )

spring217

禁虫 (小有名气)
★
nofrunolif(金币+1): 鼓励交流 2011-12-07 19:56:00
nofrunolif: 回帖置顶 2011-12-07 19:56:02
彼岸沙洲(金币+10): 恩啊，谢谢 2011-12-08 14:52:52
本帖内容被屏蔽
4楼2011-12-07 17:56:01
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普通回帖

pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
nofrunolif(金币+1): 欢迎来本版交流 2011-12-06 19:31:04
彼岸沙洲(金币+5): 2011-12-08 14:53:26
我用的是Si/SiO2/Ti/Pt, 不同的衬底会影响薄膜的结晶取向，还有就是要考虑衬底与薄膜的晶格失配的问题。
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2楼2011-12-06 19:09:44
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orangeade80

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

彼岸沙洲(金币+3): 可以结晶吧，直接Si的话，一般生成PT 2011-12-08 14:54:59
PZT薄膜在Si基板上无法结晶。
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3楼2011-12-07 10:01:28
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wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
nofrunolif(金币+1): 欢迎交流 2011-12-09 13:26:15
彼岸沙洲(金币+2): 2011-12-12 16:51:59
应力， 热膨胀，应用领域等综合考虑
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5楼2011-12-09 11:57:56
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orangeade80

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
彼岸沙洲(金币+10): 谢谢你，我主要是想知道不同的基板的用途，综述我先搜出来看看 2011-12-12 16:50:44
nofrunolif(金币+2): 谢谢交流 2011-12-12 21:48:17
直接在Si上做PZT薄膜是无法得到钙钛矿结构的，主要原因有两方面：一方面是Si衬底的晶格参数比PZT薄膜的大得多，晶格严重失配；第二个原因是Pb会扩散到衬底去取代Si，导致衬底形成硅酸铅，且膜层却因为缺Pb而出现富Zr的焦绿石相。
所以一般会在Si上面先做一层STO，减少晶格失配和阻止Pb渗透到衬底。
不同基板的选择及应用场合，你可以看看这篇综述：《Processing, Structure, Properties, and Applications of PZT Thin Films》。这里好像没法上传附件。。。
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6楼2011-12-12 13:14:20
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julietzhu

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by pcsmine at 2011-12-06 19:09:44
我用的是Si/SiO2/Ti/Pt, 不同的衬底会影响薄膜的结晶取向，还有就是要考虑衬底与薄膜的晶格失配的问题。

你好，我想问一下，你的衬底Si/SiO2/Ti/Pt，是买的还是自己镀的？
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7楼2013-05-28 17:40:45
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wu1008

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by orangeade80 at 2011-12-07 10:01:28
PZT薄膜在Si基板上无法结晶。

汗，谁说的？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2013-05-28 18:21:22
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