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彼岸沙洲

金虫 (初入文坛)

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[求助] PZT 薄膜基板的选择不同的基板所针对的应用领域区别？？？？

最近在做PZT薄膜。溶胶凝胶法和水热法都有用到，看到不同的衬底选择，有的是用Si，有的是Si/SiO2/Ti/Pt,有的是Ti，有的是STO，想了解下不同基板所针对的应用领域有哪些，以及我们选择基板的依据应该是什么？迫切的想要知道，请各位大侠不吝赐教！！！！！！

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你若不爱，我亦无奈

1楼 2011-12-06 14:11:57

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orangeade80

金虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★ ★
彼岸沙洲(金币+10): 谢谢你，我主要是想知道不同的基板的用途，综述我先搜出来看看 2011-12-12 16:50:44
nofrunolif(金币+2): 谢谢交流 2011-12-12 21:48:17

直接在Si上做PZT薄膜是无法得到钙钛矿结构的，主要原因有两方面：一方面是Si衬底的晶格参数比PZT薄膜的大得多，晶格严重失配；第二个原因是Pb会扩散到衬底去取代Si，导致衬底形成硅酸铅，且膜层却因为缺Pb而出现富Zr的焦绿石相。
所以一般会在Si上面先做一层STO，减少晶格失配和阻止Pb渗透到衬底。
不同基板的选择及应用场合，你可以看看这篇综述：《Processing, Structure, Properties, and Applications of PZT Thin Films》。这里好像没法上传附件。。。