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彼岸沙洲

金虫 (初入文坛)

[求助] PZT 薄膜 基板的选择 不同的基板所针对的应用领域区别????

最近在做PZT薄膜。溶胶凝胶法和水热法都有用到,看到不同的衬底选择,有的是用Si,有的是Si/SiO2/Ti/Pt,有的是Ti,有的是STO,想了解下不同基板所针对的应用领域有哪些,以及我们选择基板的依据应该是什么?迫切的想要知道,请各位大侠不吝赐教!!!!!!
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


nofrunolif(金币+1): 欢迎来本版交流 2011-12-06 19:31:04
彼岸沙洲(金币+5): 2011-12-08 14:53:26
我用的是Si/SiO2/Ti/Pt, 不同的衬底会影响薄膜的结晶取向,还有就是要考虑衬底与薄膜的晶格失配的问题。
2楼2011-12-06 19:09:44
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