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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PZT 薄膜 基板的选择 不同的基板所针对的应用领域区别？？？？
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彼岸沙洲

金虫 (初入文坛)

[求助] PZT 薄膜 基板的选择 不同的基板所针对的应用领域区别？？？？

最近在做PZT薄膜。溶胶凝胶法和水热法都有用到，看到不同的衬底选择，有的是用Si，有的是Si/SiO2/Ti/Pt,有的是Ti，有的是STO，想了解下不同基板所针对的应用领域有哪些，以及我们选择基板的依据应该是什么？迫切的想要知道，请各位大侠不吝赐教！！！！！！
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1楼 2011-12-06 14:11:57
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spring217

禁虫 (小有名气)
★
nofrunolif(金币+1): 鼓励交流 2011-12-07 19:56:00
nofrunolif: 回帖置顶 2011-12-07 19:56:02
彼岸沙洲(金币+10): 恩啊，谢谢 2011-12-08 14:52:52
本帖内容被屏蔽
4楼2011-12-07 17:56:01
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
nofrunolif(金币+1): 欢迎来本版交流 2011-12-06 19:31:04
彼岸沙洲(金币+5): 2011-12-08 14:53:26
我用的是Si/SiO2/Ti/Pt, 不同的衬底会影响薄膜的结晶取向，还有就是要考虑衬底与薄膜的晶格失配的问题。
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2楼2011-12-06 19:09:44
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orangeade80

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

彼岸沙洲(金币+3): 可以结晶吧，直接Si的话，一般生成PT 2011-12-08 14:54:59
PZT薄膜在Si基板上无法结晶。
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3楼2011-12-07 10:01:28
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wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
nofrunolif(金币+1): 欢迎交流 2011-12-09 13:26:15
彼岸沙洲(金币+2): 2011-12-12 16:51:59
应力， 热膨胀，应用领域等综合考虑
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5楼2011-12-09 11:57:56
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