24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2581  |  回复: 11

aijiawo

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


[交流] 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金(Au)薄膜

金(Au)薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差,一般要做过渡层,像钛钨、铬等,我想问,不做过渡层,如何提高金(Au)薄膜对衬底的粘附性,做过这方面研究的虫子们给一下指点,先谢谢了~~
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验相关

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aijiawo

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


哪位虫子可以指点一下,谢谢!
2楼2013-05-08 13:48:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天之蓝心

兑换贵宾

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
aijiawo: 金币+1 2013-05-08 16:11:29
不知道你用的是什么方法,一般的溅射的话提高基底温度试试
3楼2013-05-08 14:19:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

甲子湖

专家顾问

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


不懂,帮顶下
4楼2013-05-08 14:56:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aijiawo

超级版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


引用回帖:
3楼: Originally posted by 天之蓝心 at 2013-05-08 14:19:47
不知道你用的是什么方法,一般的溅射的话提高基底温度试试

哦,我电子束蒸发和溅射都可以做,不过不知这些工艺的基底温度控制方便不。
5楼2013-05-08 16:10:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天之蓝心

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
aijiawo: 金币+2 2013-05-08 21:33:55
引用回帖:
5楼: Originally posted by aijiawo at 2013-05-08 16:10:57
哦,我电子束蒸发和溅射都可以做,不过不知这些工艺的基底温度控制方便不。...

可以的,一般的设备都有正反转电机用来控制溅射过程中的温度。你可以查查薄膜技术方面的资料,不同的方法影响附着力的因素不同,尤其是工艺参数上。
6楼2013-05-08 18:46:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aijiawo

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


引用回帖:
6楼: Originally posted by 天之蓝心 at 2013-05-08 18:46:34
可以的,一般的设备都有正反转电机用来控制溅射过程中的温度。你可以查查薄膜技术方面的资料,不同的方法影响附着力的因素不同,尤其是工艺参数上。...

多谢指点!
7楼2013-05-08 21:34:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

主管区长

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
aijiawo: 金币+2 2013-05-21 08:07:34
sputter:
1.基片沉积前,负偏压蚀刻清洗
2.沉积过程中,施加负偏压。
3.提高基片沉积温度300度-600度。

EB:
1.基片沉积前,Ar+蚀刻清洗。
2提高基片沉积温度300度-600度。

这是我做实验室采用的方法。仅仅是建议哈,希望对你有帮助。
8楼2013-05-20 10:14:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

aijiawo

专家顾问

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


引用回帖:
8楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-20 10:14:28
sputter:
1.基片沉积前,负偏压蚀刻清洗
2.沉积过程中,施加负偏压。
3.提高基片沉积温度300度-600度。

EB:
1.基片沉积前,Ar+蚀刻清洗。
2提高基片沉积温度300度-600度。

这是我做实验室采用的方法。 ...

很有帮助,谢谢!
9楼2013-05-21 08:07:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Lydia_Lynn

实习版主

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
Si和Ti的粘附性好,还是SiO2和Ti的粘附性好???
10楼2013-05-27 16:39:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

文虫wen

专家顾问


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
本帖内容被屏蔽

11楼2014-04-24 16:20:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chichister

管理员

优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!优秀!!有木有!!!


引用回帖:
10楼: Originally posted by Lydia_Lynn at 2013-05-27 16:39:50
Si和Ti的粘附性好,还是SiO2和Ti的粘附性好???

SiO2
12楼2016-02-04 12:23:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 aijiawo 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 博一被送出联培感觉不适应怎么办 +3 全村的狗 2026-03-31 3/150 2026-04-01 10:44 by 328838485
[考研] 265求调剂 +6 yelck 2026-04-01 7/350 2026-04-01 09:53 by yelck
[考研] 一志愿 南京航空航天大学 ,080500材料科学与工程学硕 +10 @taotao 2026-03-31 11/550 2026-04-01 09:43 by xiayizhi
[考研] 求调剂,一志愿 南京航空航天大学 ,080500材料科学与工程学硕,总分289分 +10 @taotao 2026-03-29 10/500 2026-04-01 09:30 by oooqiao
[考研] 08工科275求调剂,可跨考。 +3 AaAa7420 2026-03-31 3/150 2026-04-01 09:27 by JourneyLucky
[考研] 349求调剂 +6 zwjjjjjj 2026-03-31 6/300 2026-04-01 09:16 by JourneyLucky
[考研] 0856材料与化工调剂,339 +10 10213207 2026-03-31 10/500 2026-04-01 08:28 by Linda Hu
[考研] 省双一流重点一本大学招收调剂 +3 wwwwffffff 2026-03-31 5/250 2026-03-31 19:49 by 曾曾曾!
[考研] 本2一志愿C9-333分,材料科学与工程,求调剂 +9 升升不降 2026-03-31 9/450 2026-03-31 18:01 by 无际的草原
[考研] 329求调剂,一志愿西北工业大学,材料工程(085601) +6 小小机灵虫 2026-03-29 12/600 2026-03-31 16:58 by 记事本2026
[考研] 22408 359分调剂 +4 Qshers 2026-03-27 8/400 2026-03-31 08:53 by Qshers
[考研] 279求调剂 +12 j的立方 2026-03-29 12/600 2026-03-30 20:30 by dick_runner
[考研] 334分 一志愿武理 材料求调剂 +16 李李不服输 2026-03-26 16/800 2026-03-30 17:47 by wangjy2002
[考研] 0703 化学 求调剂,一志愿山东大学 342 分 +7 Shern—- 2026-03-28 7/350 2026-03-30 16:31 by nothing投稿中
[考研] 332求调剂 +6 Lyy930824@ 2026-03-29 6/300 2026-03-30 10:53 by 1172367218
[考研] 085600,材料与化工321分求调剂 +10 大馋小子 2026-03-28 10/500 2026-03-29 23:35 by 飞行日记西
[考研] 本科双非材料,跨考一志愿华电085801电气,283求调剂,任何专业都可以 +6 芝士雪baoo 2026-03-28 8/400 2026-03-29 08:16 by 松花缸1201
[考研] 315分求调剂 +7 26考研上岸版26 2026-03-26 7/350 2026-03-28 04:05 by fmesaito
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-26 3/150 2026-03-26 19:57 by nihaoar
[考研] 机械学硕310分,数一英一,一志愿211本科双非找调剂信息 +3 @357 2026-03-25 3/150 2026-03-26 16:34 by by.MENG
信息提示
请填处理意见