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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金（Au）薄膜
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aijiawo

金虫 (小有名气)

[交流] 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金（Au）薄膜

金（Au）薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差，一般要做过渡层，像钛钨、铬等，我想问，不做过渡层，如何提高金（Au）薄膜对衬底的粘附性，做过这方面研究的虫子们给一下指点，先谢谢了~~
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1楼 2013-05-07 15:40:24
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aijiawo

金虫 (小有名气)
哪位虫子可以指点一下，谢谢！
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2楼2013-05-08 13:48:37
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天之蓝心

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
aijiawo: 金币+1 2013-05-08 16:11:29
不知道你用的是什么方法，一般的溅射的话提高基底温度试试
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3楼2013-05-08 14:19:47
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甲子湖

金虫 (小有名气)
不懂，帮顶下
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4楼2013-05-08 14:56:43
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aijiawo

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 天之蓝心 at 2013-05-08 14:19:47
不知道你用的是什么方法，一般的溅射的话提高基底温度试试

哦，我电子束蒸发和溅射都可以做，不过不知这些工艺的基底温度控制方便不。
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5楼2013-05-08 16:10:57
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天之蓝心

木虫 (正式写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
aijiawo: 金币+2 2013-05-08 21:33:55
引用回帖:
5楼: Originally posted by aijiawo at 2013-05-08 16:10:57
哦，我电子束蒸发和溅射都可以做，不过不知这些工艺的基底温度控制方便不。...

可以的，一般的设备都有正反转电机用来控制溅射过程中的温度。你可以查查薄膜技术方面的资料，不同的方法影响附着力的因素不同，尤其是工艺参数上。
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6楼2013-05-08 18:46:34
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aijiawo

金虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 天之蓝心 at 2013-05-08 18:46:34
可以的，一般的设备都有正反转电机用来控制溅射过程中的温度。你可以查查薄膜技术方面的资料，不同的方法影响附着力的因素不同，尤其是工艺参数上。...

多谢指点！
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7楼2013-05-08 21:34:12
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qwcmos

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
aijiawo: 金币+2 2013-05-21 08:07:34
sputter：
1.基片沉积前，负偏压蚀刻清洗
2.沉积过程中，施加负偏压。
3.提高基片沉积温度300度-600度。

EB：
1.基片沉积前，Ar+蚀刻清洗。
2提高基片沉积温度300度-600度。

这是我做实验室采用的方法。仅仅是建议哈，希望对你有帮助。
赞一下 回复此楼
8楼2013-05-20 10:14:28
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aijiawo

金虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-20 10:14:28
sputter：
1.基片沉积前，负偏压蚀刻清洗
2.沉积过程中，施加负偏压。
3.提高基片沉积温度300度-600度。

EB：
1.基片沉积前，Ar+蚀刻清洗。
2提高基片沉积温度300度-600度。

这是我做实验室采用的方法。 ...

很有帮助，谢谢！
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9楼2013-05-21 08:07:56
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Lydia_Lynn

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Si和Ti的粘附性好，还是SiO2和Ti的粘附性好？？？
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10楼2013-05-27 16:39:50
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文虫wen

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
11楼2014-04-24 16:20:29
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chichister

金虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by Lydia_Lynn at 2013-05-27 16:39:50
Si和Ti的粘附性好，还是SiO2和Ti的粘附性好？？？

SiO2
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12楼2016-02-04 12:23:20
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