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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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aijiawo

金虫 (小有名气)


[交流] 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金(Au)薄膜

金(Au)薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差,一般要做过渡层,像钛钨、铬等,我想问,不做过渡层,如何提高金(Au)薄膜对衬底的粘附性,做过这方面研究的虫子们给一下指点,先谢谢了~~
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aijiawo

金虫 (小有名气)


引用回帖:
8楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-20 10:14:28
sputter:
1.基片沉积前,负偏压蚀刻清洗
2.沉积过程中,施加负偏压。
3.提高基片沉积温度300度-600度。

EB:
1.基片沉积前,Ar+蚀刻清洗。
2提高基片沉积温度300度-600度。

这是我做实验室采用的方法。 ...

很有帮助,谢谢!
9楼2013-05-21 08:07:56
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aijiawo

金虫 (小有名气)


哪位虫子可以指点一下,谢谢!
2楼2013-05-08 13:48:37
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天之蓝心

木虫 (正式写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
aijiawo: 金币+1 2013-05-08 16:11:29
不知道你用的是什么方法,一般的溅射的话提高基底温度试试
3楼2013-05-08 14:19:47
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甲子湖

金虫 (小有名气)


不懂,帮顶下
4楼2013-05-08 14:56:43
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