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aijiawo

金虫 (小有名气)

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[交流] 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金（Au）薄膜

金（Au）薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差，一般要做过渡层，像钛钨、铬等，我想问，不做过渡层，如何提高金（Au）薄膜对衬底的粘附性，做过这方面研究的虫子们给一下指点，先谢谢了~~

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1楼 2013-05-07 15:40:24

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aijiawo

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

8楼: Originally posted by qwcmos at 2013-05-20 10:14:28
sputter：
1.基片沉积前，负偏压蚀刻清洗
2.沉积过程中，施加负偏压。
3.提高基片沉积温度300度-600度。

EB：
1.基片沉积前，Ar+蚀刻清洗。
2提高基片沉积温度300度-600度。

这是我做实验室采用的方法。 ...

很有帮助，谢谢！

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