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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 怎样降低二氧化硅薄膜的折射率？？
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

[求助] 怎样降低二氧化硅薄膜的折射率？？

各位大神，请问大家有什么法子可以使二氧化硅薄膜的折射率降低啊？
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1楼 2013-12-09 23:42:22
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回帖置顶 ( 共有1个 )

abooo

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zhuimeng-k: 金币+1, ★有帮助, 详细点就更好了 2013-12-10 12:47:47
cqbpatriot: 回帖置顶 2013-12-11 12:35:43
cqbpatriot: 金币+1 2013-12-11 12:35:50
可以引进孔结构，另外可以掺杂其他低折射率材料。
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2楼2013-12-10 08:43:49
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abooo

木虫 (著名写手)
引用回帖:
16楼: Originally posted by zhuimeng-k at 2013-12-15 15:36:40
比方说？...

硅氧烷的环体，你这个溶胶凝胶怎么也需要高温处理，这些致孔剂正好可以挥发掉。
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17楼2013-12-15 16:20:00
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by abooo at 2013-12-10 08:43:49
可以引进孔结构，另外可以掺杂其他低折射率材料。

这位兄台，怎样引入孔结构呢？我刚接触还不是很清楚，请不吝赐教啊。掺杂其他低折射率材料，比SiO2折射率低的物质不多啊，就MgF2、NaF等，但是这些物质怎样才能掺杂进去呢？不溶于水或醇啊。
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3楼2013-12-10 12:50:31
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abooo

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

看你的二氧化硅薄膜是怎么做的啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2013-12-10 14:20:43
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by abooo at 2013-12-10 14:20:43
看你的二氧化硅薄膜是怎么做的啊

溶胶凝胶法啊
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5楼2013-12-10 20:28:33
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abooo

木虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zhuimeng-k at 2013-12-10 20:28:33
溶胶凝胶法啊...

你这个折射率不会很高啊！你要求多高？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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6楼2013-12-10 21:23:17
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
6楼: Originally posted by abooo at 2013-12-10 21:23:17
你这个折射率不会很高啊！你要求多高？
...

如果磁控溅射，怎么降低，是不是加大氧气流量
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7楼2013-12-11 11:32:49
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abooo

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-11 11:32:49
如果磁控溅射，怎么降低，是不是加大氧气流量...

磁控溅射的话，一定得引入其他元素了。我相信这个思路是有人做的。
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8楼2013-12-11 14:22:48
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
8楼: Originally posted by abooo at 2013-12-11 14:22:48
磁控溅射的话，一定得引入其他元素了。我相信这个思路是有人做的。...

磁控溅射怎么相入别的元素，现在普遍是反应溅射，如果引入别的元素的话，是否会污染真空
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9楼2013-12-11 16:35:50
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abooo

木虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-11 16:35:50
磁控溅射怎么相入别的元素，现在普遍是反应溅射，如果引入别的元素的话，是否会污染真空...

反应的时候就引入啊！
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10楼2013-12-11 17:47:29
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