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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

[求助] 怎样降低二氧化硅薄膜的折射率??

各位大神,请问大家有什么法子可以使二氧化硅薄膜的折射率降低啊?
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

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2楼: Originally posted by abooo at 2013-12-10 08:43:49
可以引进孔结构,另外可以掺杂其他低折射率材料。

这位兄台,怎样引入孔结构呢?我刚接触还不是很清楚,请不吝赐教啊。掺杂其他低折射率材料,比SiO2折射率低的物质不多啊,就MgF2、NaF等,但是这些物质怎样才能掺杂进去呢?不溶于水或醇啊。
3楼2013-12-10 12:50:31
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

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4楼: Originally posted by abooo at 2013-12-10 14:20:43
看你的二氧化硅薄膜是怎么做的啊

溶胶凝胶法啊
5楼2013-12-10 20:28:33
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

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6楼: Originally posted by abooo at 2013-12-10 21:23:17
你这个折射率不会很高啊!你要求多高?
...

是不是很高,但是还想进一步降低其折射率。希望能到达1.30左右。
11楼2013-12-13 13:32:49
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

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7楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-11 11:32:49
如果磁控溅射,怎么降低,是不是加大氧气流量...

哥们,被你喧宾夺主了。呵呵……你做磁控溅射镀膜的?
12楼2013-12-13 13:34:28
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

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13楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-13 14:39:37
是啊,哈哈,不好意思,借你的贴子问问各位大神
我在磁控溅射过程发现SiO2透过率的峰值左右波动,就想知道这个波动可不可控,是通过什么控制的...

呵呵……没关系,大家相互讨论学习,你是做磁控溅射镀二氧化硅减反膜的?你这个透过率峰值左右波动,两个原因(1)可能是磁控溅射镀膜厚度变化,厚度不一样对减反射波长不一样峰值自然会有所偏移,(2)可能是膜层孔隙率控制不好,也就是说工艺控制不好导致镀的膜疏密不同。因为不是做磁控溅射的,纯属个人见解,不对之处还请原谅。
14楼2013-12-14 10:41:52
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

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15楼: Originally posted by abooo at 2013-12-14 14:48:03
我建议可以加一些致孔剂。...

比方说?
16楼2013-12-15 15:36:40
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)

18楼2013-12-22 13:06:06
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