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zhuimeng-k

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[求助] 怎样降低二氧化硅薄膜的折射率？？

各位大神，请问大家有什么法子可以使二氧化硅薄膜的折射率降低啊？

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1楼 2013-12-09 23:42:22

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zhuimeng-k

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引用回帖:

13楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-13 14:39:37
是啊，哈哈，不好意思，借你的贴子问问各位大神
我在磁控溅射过程发现SiO2透过率的峰值左右波动，就想知道这个波动可不可控，是通过什么控制的...

呵呵……没关系，大家相互讨论学习，你是做磁控溅射镀二氧化硅减反膜的？你这个透过率峰值左右波动，两个原因（1）可能是磁控溅射镀膜厚度变化，厚度不一样对减反射波长不一样峰值自然会有所偏移，（2）可能是膜层孔隙率控制不好，也就是说工艺控制不好导致镀的膜疏密不同。因为不是做磁控溅射的，纯属个人见解，不对之处还请原谅。