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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 怎样降低二氧化硅薄膜的折射率？？
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by abooo at 2013-12-10 21:23:17
你这个折射率不会很高啊！你要求多高？
...

是不是很高，但是还想进一步降低其折射率。希望能到达1.30左右。
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11楼2013-12-13 13:32:49
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-11 11:32:49
如果磁控溅射，怎么降低，是不是加大氧气流量...

哥们，被你喧宾夺主了。呵呵……你做磁控溅射镀膜的？
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12楼2013-12-13 13:34:28
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
引用回帖:
12楼: Originally posted by zhuimeng-k at 2013-12-13 13:34:28
哥们，被你喧宾夺主了。呵呵……你做磁控溅射镀膜的？...

是啊，哈哈，不好意思，借你的贴子问问各位大神
我在磁控溅射过程发现SiO2透过率的峰值左右波动，就想知道这个波动可不可控，是通过什么控制的
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13楼2013-12-13 14:39:37
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-13 14:39:37
是啊，哈哈，不好意思，借你的贴子问问各位大神
我在磁控溅射过程发现SiO2透过率的峰值左右波动，就想知道这个波动可不可控，是通过什么控制的...

呵呵……没关系，大家相互讨论学习，你是做磁控溅射镀二氧化硅减反膜的？你这个透过率峰值左右波动，两个原因（1）可能是磁控溅射镀膜厚度变化，厚度不一样对减反射波长不一样峰值自然会有所偏移，（2）可能是膜层孔隙率控制不好，也就是说工艺控制不好导致镀的膜疏密不同。因为不是做磁控溅射的，纯属个人见解，不对之处还请原谅。
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14楼2013-12-14 10:41:52
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abooo

木虫 (著名写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by zhuimeng-k at 2013-12-13 13:32:49
是不是很高，但是还想进一步降低其折射率。希望能到达1.30左右。...

我建议可以加一些致孔剂。
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活着就是幸福~~!
15楼2013-12-14 14:48:03
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by abooo at 2013-12-14 14:48:03
我建议可以加一些致孔剂。...

比方说？
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16楼2013-12-15 15:36:40
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abooo

木虫 (著名写手)
引用回帖:
16楼: Originally posted by zhuimeng-k at 2013-12-15 15:36:40
比方说？...

硅氧烷的环体，你这个溶胶凝胶怎么也需要高温处理，这些致孔剂正好可以挥发掉。
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活着就是幸福~~!
17楼2013-12-15 16:20:00
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zhuimeng-k

金虫 (著名写手)
18楼2013-12-22 13:06:06
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