应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 基础研究 » 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金（Au）薄膜
51/1返回列表
查看: 2972  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

aijiawo

金虫 (小有名气)

[交流] 在硅衬底和二氧化硅衬底上如何做金（Au）薄膜

金（Au）薄膜对硅衬底和二氧化硅衬底的粘附性都很差，一般要做过渡层，像钛钨、铬等，我想问，不做过渡层，如何提高金（Au）薄膜对衬底的粘附性，做过这方面研究的虫子们给一下指点，先谢谢了~~
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验相关

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-05-07 15:40:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

qwcmos

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
aijiawo: 金币+2 2013-05-21 08:07:34
sputter：
1.基片沉积前，负偏压蚀刻清洗
2.沉积过程中，施加负偏压。
3.提高基片沉积温度300度-600度。

EB：
1.基片沉积前，Ar+蚀刻清洗。
2提高基片沉积温度300度-600度。

这是我做实验室采用的方法。仅仅是建议哈，希望对你有帮助。
赞一下 回复此楼
8楼2013-05-20 10:14:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

aijiawo

金虫 (小有名气)
哪位虫子可以指点一下，谢谢！
赞一下 回复此楼
2楼2013-05-08 13:48:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

天之蓝心

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
aijiawo: 金币+1 2013-05-08 16:11:29
不知道你用的是什么方法，一般的溅射的话提高基底温度试试
赞一下 回复此楼
3楼2013-05-08 14:19:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

甲子湖

金虫 (小有名气)
不懂，帮顶下
回复此楼
4楼2013-05-08 14:56:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭